浙江芯晖装备技术有限公司王翌辉获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯晖装备技术有限公司申请的专利一种粗精磨的减薄设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223369125U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422524822.1，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型一种粗精磨的减薄设备是由王翌辉;傅伊超;张峰;盛湘远设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种粗精磨的减薄设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种粗精磨的减薄设备，包括安装座、收纳组件、研磨组件、清洗组件、定位单元和传输机构，安装座包括位于安装座顶部的顶板；收纳组件设置于顶板；研磨组件设置于顶板，包括精磨机构、粗磨机构、位于粗磨机构下方的第一卡盘以及位于精磨机构下方的第二卡盘；清洗组件设置于顶板，包括用于晶圆研磨前清洗的第一清洗单元、用于晶圆研磨后清洗的第二清洗单元、以及硅片干燥单元；定位单元设置于顶板；传输机构设置于顶板，包括第一机械手和第二机械手，精磨机构和粗磨机构独立设置，能在第一机械手和第二机械手的带动下使同规格不同晶圆同时进行粗磨和精磨，实现至少两片晶圆同时进行粗磨削和或精磨削，以提高产品的加工效率。
本实用新型一种粗精磨的减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种粗精磨的减薄设备，其特征在于，包括： 安装座，包括位于所述安装座顶部的顶板； 收纳组件，设置于所述顶板，用于收纳晶圆； 研磨组件，设置于所述顶板，包括精磨机构、粗磨机构、位于所述粗磨机构下方的第一卡盘以及位于所述精磨机构下方的第二卡盘； 清洗组件，设置于所述顶板，包括用于晶圆研磨前清洗的第一清洗单元、用于晶圆研磨后清洗的第二清洗单元、以及硅片干燥单元； 定位单元，设置于所述顶板，用于定位晶圆； 传输机构，设置于所述顶板，包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手用于将晶圆从所述收纳组件移动至所述定位单元、以及将晶圆从所述硅片干燥单元转移至所述收纳组件，所述第二机械手用于将晶圆沿所述定位单元、所述第一清洗单元、所述第一卡盘、所述第二卡盘、所述第二清洗单元、所述硅片干燥单元依次转移。
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