江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223378149U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422368548.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸附装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种晶圆吸附装置，包括：真空模块、辅助真空模块、破真空模块以及操作台，其中，晶圆加工设备在断电状态下，辅助真空回路处于导通状态且真空回路处于断开状态，辅助真空模块产生负压，并通过辅助真空回路维持向目标导通口提供的吸附力，使得操作台吸附晶圆；破真空模块，用于在操作台无需吸附晶圆的情况下，向真空回路输入空气，以抵消目标导通口提供的吸附力，使得操作台释放晶圆，这样，在晶圆加工设备通电且故障时辅助真空模块继续提供负压，确保晶圆吸附不受影响，以及在无需吸附晶圆的时候，通过破真空模块控制操作台释放吸附的晶圆。
本实用新型一种晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附装置，所述晶圆吸附装置用于晶圆加工设备，其特征在于，所述装置包括：真空模块、辅助真空模块、破真空模块以及操作台，所述真空模块包括真空回路和真空泵，所述辅助真空模块包括辅助真空回路，所述真空回路与所述操作台通过目标导通口导通，所述辅助真空回路与所述真空回路连接，所述破真空模块与所述真空回路连接，其中： 所述晶圆加工设备在通电状态下，所述真空回路处于导通状态且所述辅助真空回路处于断开状态，所述真空泵用于抽取所述真空回路的空气，并通过所述目标导通口提供吸附力，使得所述操作台吸附所述晶圆； 所述晶圆加工设备在断电状态下，所述辅助真空回路处于导通状态且所述真空回路处于断开状态，所述辅助真空模块产生负压，并通过所述辅助真空回路维持向所述目标导通口提供的吸附力，使得所述操作台吸附所述晶圆； 所述破真空模块，用于在所述操作台无需吸附所述晶圆的情况下，向所述真空回路输入空气，以抵消所述目标导通口提供的吸附力，使得所述操作台释放所述晶圆。
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