极电光能有限公司王健获国家专利权
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龙图腾网获悉极电光能有限公司申请的专利溅射镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373203U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422306240.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型溅射镀膜装置是由王健;邓贤柱;邵君;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜技术领域，公开了一种溅射镀膜装置，包括镀膜腔室，包含有用于承载基片的承载平台；一对靶材安装座，设置在镀膜腔室的底部且用于盛放镀膜靶材，两组靶材安装座在基片最大长度的方向上间距设置；等离子体发生器，包含有两组与靶材安装座一一对应设置的等离子枪，等离子枪用于产生等离子体轰击于镀膜靶材以形成溅射区域，在垂直于基片的方向上，两组溅射区域交叠的高度位置对应设置承载平台且用于形成基片的镀膜平面。本实用新型提供溅射镀膜装置。通过两组靶材安装座在基片最大长度的方向上间距设置，有效解决了磁场干扰导致的膜面均匀性较差的问题。
本实用新型溅射镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜装置，其特征在于，包括： 镀膜腔室1，包含有用于承载基片2的承载平台3； 一对靶材安装座4，设置在所述镀膜腔室1的底部且用于盛放镀膜靶材5，两组所述靶材安装座4在所述基片2最大长度的方向上间距设置； 等离子体发生器6，包含有两组与所述靶材安装座4一一对应设置的等离子枪601，所述等离子枪601用于产生等离子体轰击于所述镀膜靶材5以形成溅射区域7，在垂直于所述基片2的方向上，两组所述溅射区域7交叠的高度位置对设置所述承载平台3且用于形成所述基片2的镀膜平面。
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