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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种晶圆等离子表面活性化设备及活性化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118969592B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411298110.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种晶圆等离子表面活性化设备及活性化方法是由张文庆;玄龙浩设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆等离子表面活性化设备及活性化方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆等离子表面活性化设备及活性化方法，属于用于处理半导体部件的设备技术领域。本发明通过ICP线圈产生的强磁场，有效激发了腔室内的气体分子，形成了高密度、高活性的等离子体；将ICP反应器设置在所述活化腔室上侧，且所述活化腔室与所述ICP反应器之间采用绝缘的陶瓷隔离板隔离，ICP电磁感应可以穿透所述隔离板，所述隔离板既保证了活化腔室的密闭性，又有效隔绝了ICP反应器的高温环境，防止ICP反应器内部的高温对活化腔室造成不利影响；将ICP线圈设置在内筒和外筒之间，且在外筒上设置散热风扇，还在活化腔室内设置散热盘管，提高了散热效果，从而能够有效降低了活化腔室内的温度。

本发明授权一种晶圆等离子表面活性化设备及活性化方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆等离子表面活性化设备，其特征在于，包括射频电源模块（100）、ICP反应器（200）、反应器上盖（300）、隔离板（400）、活化腔室（500）、抽真空系统（910）和气体泵送管路（920）； 所述ICP反应器（200）包括ICP线圈（210）、内筒（220）和外筒（230），所述外筒（230）套设在所述内筒（220）外侧，所述外筒（230）与所述内筒（220）之间形成外腔，所述ICP线圈（210）呈螺旋状安装在所述外腔内并与所述射频电源模块（100）电连接，所述外筒（230）的筒壁上设有多个均匀分布的散热风扇（240）； 所述反应器上盖（300）以能够开合的方式安装在所述ICP反应器（200）上方，所述ICP反应器（200）位于所述活化腔室（500）的上侧，所述隔离板（400）位于所述活化腔室（500）与所述ICP反应器（200）之间； 所述活化腔室（500）的侧壁上设有晶圆入口（540），所述活化腔室（500）内设有晶圆载台（510）、晶圆顶升针（520）和冷却盘管（530），所述晶圆载台（510）固定在所述活化腔室（500）内，所述冷却盘管（530）设置在所述晶圆载台（510）的下方，所述晶圆载台（510）上设有通孔，所述晶圆顶升针（520）以能够升降的方式安装在所述通孔内； 所述活化腔室（500）的底部设有抽气口（550），所述抽真空系统（910）通过所述抽气口（550）与所述活化腔室（500）连通；所述活化腔室（500）的顶部设有进气口（560），所述气体泵送管路（920）通过所述进气口（560）与所述活化腔室（500）连通，所述抽气口（550）和所述进气口（560）均位于所述活化腔室（500）的中心线上； 所述内筒（220）为具有中央空腔的圆筒，所述外筒（230）为多边形筒，所述多边形筒上设有散热孔，所述散热风扇（240）嵌装在所述多边形筒的平面筒壁上； 所述内筒（220）和外筒（230）之间的外腔周向均布有多个支撑板（250），所述ICP线圈（210）通过所述支撑板（250）安装在所述外腔内。

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