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东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张灿获国家专利权

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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利磁偏转控制系统和扫描电镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119132915B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411259327.0,技术领域涉及:H01J37/26;该发明授权磁偏转控制系统和扫描电镜是由张灿;孟庆浪设计研发完成,并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

磁偏转控制系统和扫描电镜在说明书摘要公布了:本发明涉及检测技术领域,特别涉及磁偏转控制系统和扫描电镜。本发明提供的磁偏转控制系统包括数模转换模块、控制模块、放大倍数调制模块和输出模块;控制模块包括扫描偏转电路和扫描幅值控制电路;扫描偏转电路的输入端和扫描幅值控制电路的输入端分别和数模转换模块的输出端电性连接,扫描偏转电路的输出端和输出模块的输入端电性连接;扫描幅值控制电路的输出端和放大倍数调制模块的输入端电性连接,放大倍数调制模块的输出端和输出模块的输入端电性连接;输出模块的输出端输出相应的磁场以调节电子束的扫描路径。本发明的磁偏转控制系统解决控制扫描偏转的信号中存在噪声导致扫描电镜最终获得的扫描图像成像质量差的问题。

本发明授权磁偏转控制系统和扫描电镜在权利要求书中公布了:1.一种磁偏转控制系统,用于控制输出的磁场以调节扫描电镜中电子束的扫描路径,其特征在于:所述磁偏转控制系统包括数模转换模块、控制模块、放大倍数调制模块和输出模块;所述控制模块包括用于生成扫描偏转控制信号的扫描偏转电路和用于生成扫描范围控制信号的扫描幅值控制电路; 所述扫描偏转电路的输入端和所述扫描幅值控制电路的输入端分别和所述数模转换模块的输出端电性连接,所述扫描偏转电路的输出端和所述输出模块的输入端电性连接,以直接将所述扫描偏转控制信号输送至所述输出模块; 所述扫描幅值控制电路的输出端和所述放大倍数调制模块的输入端电性连接,所述放大倍数调制模块的输出端和所述输出模块的输入端电性连接,以使所述扫描范围控制信号经过所述放大倍数调制模块放大后输送至所述输出模块; 所述输出模块的输入端接收所述扫描偏转控制信号和或所述扫描范围控制信号,并控制所述输出模块的输出端输出相应的磁场以调节电子束的扫描路径。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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