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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种高速MEMS光学移相器及其阵列、封装结构和光学设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119291917B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411257226.X，技术领域涉及：G02B26/06；该发明授权一种高速MEMS光学移相器及其阵列、封装结构和光学设备是由吴亚明;韩雨薇;凌必赟;王潇悦设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高速MEMS光学移相器及其阵列、封装结构和光学设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种高速MEMS光学移相器及其阵列、封装结构和光学设备，移相器中：第二平面区域的驱动定梳齿与第一平面区域的驱动动梳齿构成静电梳齿驱动器；衬底层的平板驱动电极与第一平面区域的垂直运动微镜构成静电平板驱动器；位移传感器传感垂直运动微镜位移量并闭环反馈控制驱动状态。本发明中梳齿和平板的双驱动结构分别对垂直运动微镜沿两相反方向驱动，简单结构实现高速光学移相；同时闭环反馈控制与双驱动结构提高移相量控制精度；另外MEMS移相器高速移相满足低成本、低功耗、小体积的高速移相应用需求；最后MEMS片内集成位移传感器，指示MEMS光学移相器的移相量并闭环反馈调整静电梳齿驱动器和静电平板驱动器的驱动状态，提高高速移相设备性能。

本发明授权一种高速MEMS光学移相器及其阵列、封装结构和光学设备在权利要求书中公布了：1.一种高速MEMS光学移相器，其特征在于，所述高速MEMS光学移相器包括：硅薄膜、衬底层和位移传感器，所述硅薄膜包括第一平面区域和第二平面区域，所述第一平面区域、所述第二平面区域和所述衬底层均垂直于第一方向； 所述第一平面区域包括垂直运动微镜、弹性梁、驱动动梳齿和第一周边结构层，所述弹性梁以所述垂直运动微镜的中心为中心点对称分布，所述垂直运动微镜通过所述弹性梁与所述第一周边结构层弹性连接，所述驱动动梳齿仅与所述垂直运动微镜固定连接；所述第二平面区域包括驱动定梳齿和第二周边结构层，所述驱动定梳齿与所述第二周边结构层固定连接；所述驱动定梳齿与所述驱动动梳齿相互交错排布以构成静电梳齿驱动器，所述静电梳齿驱动器的驱动方向为沿所述第一方向朝远离所述衬底层的方向； 所述衬底层包括平板驱动电极和第三周边结构层，所述第三周边结构层设置有凹槽，所述平板驱动电极固定于所述凹槽的底部；所述平板驱动电极与所述垂直运动微镜在衬底层上的投影有重叠部分，所述平板驱动电极与所述垂直运动微镜之间的凹槽形成气隙以构成静电平板驱动器，所述静电平板驱动器的驱动方向为沿所述第一方向朝靠近所述衬底层的方向；所述第一周边结构层、所述第二周边结构层和所述第三周边结构层之间固定连接构成总结构层； 所述位移传感器用于传感所述垂直运动微镜沿所述第一方向的位移量，所述位移传感器传感得到的位移量用于指示所述高速MEMS光学移相器的移相量并闭环反馈调整所述静电梳齿驱动器和静电平板驱动器的驱动状态，以控制所述垂直运动微镜沿所述第一方向的运动状态。

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