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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种酸槽式湿法刻蚀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361455B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411238264.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种酸槽式湿法刻蚀方法是由王玺润;张振东设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种酸槽式湿法刻蚀方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种酸槽式湿法刻蚀方法，包括关系曲线建立步骤、刻蚀速率预算步骤、第一判断步骤、第二判断步骤与第三判断步骤，其中，针对不同类型的产品，建立各自对应的刻蚀速率随跑货量变化的关系曲线，在跑货前，针对线上多组待跑货的产品，根据每组待跑货产品的类型与跑货量，基于对应的关系曲线及当前的酸槽氧化硅刻蚀速率预算出每组待跑货产品跑货后各自对应的刻蚀速率，之后根据当前的酸槽氧化硅刻蚀速率所处的范围，在线上多组待跑货的产品中选择一组进行跑货或者进行小换酸，最终使酸槽刻蚀速率稳定在目标刻蚀速率附近。本发明中，即使不同类型的产品过酸槽跑货，酸槽刻蚀速率仍然能够保持稳定，可以提高生产过程的稳定性，保证产品质量。

本发明授权一种酸槽式湿法刻蚀方法在权利要求书中公布了：1.一种酸槽式湿法刻蚀方法，其特征在于，包括以下步骤： 关系曲线建立步骤：针对不同类型的产品，建立各自对应的酸槽氧化硅刻蚀速率随跑货量变化的关系曲线； 刻蚀速率预算步骤：获取当前的酸槽氧化硅刻蚀速率ER，并针对线上多组待跑货的产品，根据每组待跑货产品的类型与跑货量，基于对应的所述关系曲线及当前的酸槽氧化硅刻蚀速率ER预算出每组待跑货产品跑货后各自对应的酸槽氧化硅刻蚀速率a； 第一判断步骤：判断ER是否满足M＜ER＜N，若是，则从线上所有待跑货的产品中随机选择一组进行跑货，若否，则进行第二判断步骤，其中，M为小于目标刻蚀速率T的第一预设值，N为大于目标刻蚀速率T的第二预设值； 第二判断步骤：判断ER是否满足S＜ER≤M，若是，则优先从线上所有待跑货的产品中选择a＞S且|a-T|绝对值最小的一组产品进行跑货，而当线上所有待跑货的产品均不满足a＞S时，则选择a≤S且|a-T|绝对值最小的一组产品进行跑货，若否，则进行第三判断步骤，其中，S为小于M的第三预设值； 第三判断步骤：判断ER是否满足ER≥N，若是，则从线上所有待跑货的产品中选择|a-T|绝对值最小的一组产品进行跑货，若否，进行小换酸。

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