大连理工大学宁波研究院;大连理工大学梁世文获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学宁波研究院;大连理工大学申请的专利一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118849622B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411209189.5,技术领域涉及:B41J2/095;该发明授权一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置是由梁世文;王大志;孔令杰;陈相吉;李义康;李泽飞;王奉书;于成治设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置,属于增材精密制造技术领域。该控制方法通过以下步骤实现:规划和匹配目标膜厚所需的目标喷印流量和目标喷印线宽,将喷射模式调节成稳定锥射流模式,喷印头扫掠过一定面积沉积成膜,监测喷印流量值反馈调节确定目标气动压力值,监测喷印线宽值反馈调节确定喷嘴与基板之间的目标电压值。还提供一种膜厚控制装置,视觉识别相机识别喷印线宽值反馈调控电场控制模块,重量传感器或液位传感器识别喷印流量值反馈调控气动控制模块。本发明可以获取喷印流量值与气动气压值、以及电场力与喷印线宽值的关系,实现了对成膜厚度工艺参数的快捷在线调节控制。
本发明授权一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法,其特征在于,基于电流体喷印沉积成膜厚度控制装置实现,所述电流体喷印沉积成膜厚度控制装置包括电流体喷印阀体、运动平台,电场控制模块,气动控制模块,用于监测喷印线宽的视觉识别相机,用于检测喷印流量的重量传感器或液位传感器;通过视觉识别相机识别喷印线宽值反馈调控电场控制模块,通过重量传感器或液位传感器识别喷印流量值反馈调控气动控制模块; 所述的电流体喷印沉积成膜厚度控制装置包括电流体喷印阀体5,工控计算机9,及与工控计算机9相连的电场控制模块3、气动控制模块8、运动平台10、视觉识别相机7和液位传感器4,基板2作为被喷印工件布置于运动平台10上;所述电流体喷印阀体5包括喷针1、储液针筒6; 所述气动控制模块8为储液针筒6提供气动压力,通过电场控制模块3将电控信号传递到喷针1;所述液位传感器4用于监测储液针筒6的液面高度,得到喷印流量值Qs;所述视觉识别相机7与电流体喷印阀体5连接用于监控喷印线宽; 该控制方法使用电流体喷印工艺沉积成膜,包括以下步骤: S1.规划和匹配目标膜厚所需的目标喷印流量和目标喷印线宽; S2.将喷针1的喷射模式调节成稳定锥射流模式,电流体喷印阀体5上的喷针1扫掠过一定面积使喷印线沿线宽方向连接合并成膜; S3.监测喷印流量值Qs反馈调节确定目标气动压力值pa; S4.通过视觉识别相机7实时监测喷印线宽值反馈调节确定喷针1与基板2之间的目标电压值Ua,最终实现对成膜厚度工艺参数的快捷在线调节控制; 所述S3具体为: 首先,通过重量传感器或液位传感器4得到喷印流量值Qs; 其次,根据当前的气动压力值ps以及监测得到的喷印流量值Qs,计算得到当前工况下的流体流动阻力系数k值; 最后,根据得到的供给流量Q与气动压力p之间的关系式确定目标气动压力值pa,使气动控制模块施加此目标值进而获得目标喷印流量Qa; 所述S3中,根据上一个采样时刻的气动压力值和监测得到的供给流量值获得的流体流动阻力系数k值,迭代计算获取当前时刻的供给流量与气动压力值的关系式,保证喷印流量Q的稳定; 通过监控供给流量Q、气动压力p计算得到k值,获得了气动压力p与供给流量Q的定量关系式,每一个采样时间都计算一次k值;使用上一个采样时间的气动压力值p(i-1)和供给流量值Q(i-1),得到本次采样计算的k值即ki: ki=(pi-1πr2+mg)d1 2Q2 i-1; 其中,mg为流体重力、pi-1πr2为气动压力;d1为喷针1内孔直径;r为储液针筒半径。
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