买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉芯慧联芯(苏州)科技有限公司申请的专利一种晶圆键合系统及键合波监测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119153345B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411193294.4，技术领域涉及：H01L21/603；该发明授权一种晶圆键合系统及键合波监测方法是由孟繁博;党佳楠;郭居上;张松贺;林文龙;崔建敏设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆键合系统及键合波监测方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆键合系统及键合波监测方法，属于半导体设备技术领域，包括：上卡盘和下卡盘，两卡盘分别设有独立可调的多个吸附区域；顶针和顶针控制系统，顶针控制系统控制顶针沿其轴向方向穿过上卡盘；吸附控制系统，分别与上卡盘和下卡盘连接；回波损耗反馈系统，与波导结构的一端连接，波导结构的另一端靠近下晶圆的吸附面，用于获取下晶圆因键合波作用产生的形变信号；以及中心控制系统，分别与顶针控制系统、吸附控制系统和回波损耗反馈系统连接，用于根据形变信号获取键合波在下晶圆上随时间变化的传播形貌，根据传播形貌分别控制各系统。本申请的方案，可准确获取键合波的位置，提高了键合波传播形貌的拟合准确度。

本发明授权一种晶圆键合系统及键合波监测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合系统，其特征在于，所述系统包括： 上卡盘（5）和下卡盘（7），所述上卡盘（5）吸附上晶圆（10），所述下卡盘（7）吸附下晶圆（11），所述上卡盘（5）和所述下卡盘（7）分别设有多个吸附区域，每个所述吸附区域的吸附能力独立可调； 顶针（9）和顶针控制系统，所述顶针（9）沿其轴向方向穿过所述上卡盘，所述顶针控制系统用于控制所述顶针（9）沿其轴向方向移动； 吸附控制系统，所述吸附控制系统分别与所述上卡盘（5）和所述下卡盘（7）连接，所述吸附控制系统用于对每个所述吸附区域的吸附能力单独调节； 回波损耗反馈系统（4），所述回波损耗反馈系统（4）与波导结构的一端连接，所述波导结构的另一端靠近所述下晶圆（11）的吸附面，所述波导结构均匀设有多个，所述回波损耗反馈系统（4）用于通过所述波导结构获取所述下晶圆（11）因键合波作用产生的形变信号；所述波导结构设置为光纤（8），所述光纤（8）贯穿所述下卡盘（7）；所述下卡盘（7）的吸附面设有凸点结构，所述光纤（8）的另一端位于所述凸点结构的内部，所述光纤（8）的另一端的端面与所述凸点结构的顶端齐平；以及 中心控制系统（2），所述中心控制系统（2）分别与所述顶针控制系统、所述吸附控制系统和所述回波损耗反馈系统（4）连接，所述中心控制系统（2）用于根据所述形变信号获取键合波在所述下晶圆（11）上随时间变化的传播形貌，根据所述传播形貌分别控制所述吸附控制系统和所述顶针控制系统。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯慧联芯(苏州)科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区现代大道88号物流大厦(112)-798室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。