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龙图腾网获悉苏州赛美达半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆生产用转移设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119108321B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411166724.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆生产用转移设备是由杜春辉;冯建炜设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆生产用转移设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆生产用转移设备，包括底座和转移机构，转移机构包括边板和外导轨，边板和外导轨均设置有两个，两个外导轨之间设置有限位机构，限位机构包括四个滑动组件和限位夹板，滑动组件包括圆形结构的滑块、连接杆和活动块，滑块和连接杆均设置有两个，两个滑块均滑动连接在外导轨和边板之间，滑块的一侧与链条固定连接，连接杆与滑块一一对应，连接杆固定连接在滑块的一侧，活动块与连接杆固定连接，限位夹板设置有四个并分别固定安装在同一限位机构内的四个活动块上。分发明通过驱动电机驱动链条转动，进而通过滑块使限位机构中的限位夹板带动晶圆移动，提高晶圆在清洗时的位置的精确性。

本发明授权一种晶圆生产用转移设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产用转移设备，包括底座（1）和转移机构，其特征在于：所述转移机构包括边板（11）和外导轨（12），边板（11）固定安装在底座（1）上，外导轨（12）通过L形的焊架焊接在边板（11）的外侧，边板（11）和外导轨（12）均设置有两个，两个边板（11）互相远离的一侧均设置有链条（13），任一链条（13）通过两个齿轮（14）连接，齿轮（14）转动连接在边板（11）上，底座（1）的顶部固定安装有驱动电机（15），链条（13）和齿轮（14）通过驱动电机（15）驱动； 两个所述外导轨（12）之间设置有限位机构，限位机构包括四个滑动组件和限位夹板（23），滑动组件包括圆形结构的滑块（2）、连接杆（21）和活动块（22），滑块（2）和连接杆（21）均设置有两个，两个滑块（2）均滑动连接在外导轨（12）和边板（11）之间，滑块（2）的一侧与链条（13）固定连接，连接杆（21）与滑块（2）一一对应，连接杆（21）固定连接在滑块（2）的一侧，活动块（22）与连接杆（21）固定连接，限位夹板（23）设置有四个并分别固定安装在同一限位机构内的四个活动块（22）上； 任一所述限位夹板（23）设置有弧形结构的夹持面（231），限位夹板（23）的厚度小于晶圆的厚度，四个限位夹板（23）之间夹持设置有晶圆本体（232）； 所述活动块（22）上设置有两个稳定机构，两个稳定机构分别设置在活动块（22）的上部和下部，两个稳定机构呈对称分布，稳定机构包括缺口（221）、转动槽、轴杆（223）、连接槽（224）和稳定夹板（225），缺口（221）开设在活动块（22）的中部，任一稳定机构内的转动槽开设有两个，两个转动槽分别开设在同一缺口（221）的两个侧壁上，连接槽（224）设置有两个，两个连接槽（224）分别开设在缺口（221）的两侧，两个连接槽（224）分别与两个转动槽相连通，轴杆（223）的两端分别贯穿两个转动槽并插入两个连接槽（224）内，稳定夹板（225）焊接在轴杆（223）的两端。

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