苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司蒋慧俊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司申请的专利适用于双抛片的多晶硅刻蚀机台手臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223378148U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422040608.9，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型适用于双抛片的多晶硅刻蚀机台手臂是由蒋慧俊;饶文超设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于双抛片的多晶硅刻蚀机台手臂在说明书摘要公布了：本申请提供了一种适用于双抛片的多晶硅刻蚀机台手臂，属于双抛片技术领域。该适用于双抛片的多晶硅刻蚀机台手臂包括连接组件和固定组件，放置板设置于手臂本体一端，放置板一侧相对应设置有孔槽，弧形卡板设置于放置板一侧，防滑层设置于放置板一侧，首先现通过孔槽或者将孔槽的位置距离适当增加，孔径稍微加大，以改变吸附真空的空间大小，其次通过放置板上的防滑层，已达到真空快速释放的效果，不同孔径距离，吸附造成的真空空间大小不同，会影响后期释放时的响应时间，由于放置板表面较为平滑，通过防滑层增大摩擦力，进而可有效缩短晶圆真空释放时的时间，达到不拖片、不掉片的目的，从而提高了实用性。
本实用新型适用于双抛片的多晶硅刻蚀机台手臂在权利要求书中公布了：1.一种适用于双抛片的多晶硅刻蚀机台手臂，其特征在于，包括 连接组件（100），所述连接组件（100）包括手臂本体（110）和放置板（120），所述放置板（120）设置于所述手臂本体（110）一端，所述放置板（120）一侧相对应设置有孔槽（130）； 固定组件（200），所述固定组件（200）包括弧形卡板（210）和防滑层（220），所述弧形卡板（210）设置于所述放置板（120）一侧，所述防滑层（220）设置于所述放置板（120）一侧，所述防滑层（220）为含有二氧化硅的镀层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区19幢1楼2楼3楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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