买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利具有应力隔离的MEMS电容式加速度传感器敏感结构及传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119024000B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411145861.9，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权具有应力隔离的MEMS电容式加速度传感器敏感结构及传感器是由韦学勇;王实秋;赵明辉;王文锋;齐永宏设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有应力隔离的MEMS电容式加速度传感器敏感结构及传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及微机电系统制造技术领域，尤其是具有应力隔离的MEMS电容式加速度传感器敏感结构及传感器，包括敏感质量块框架、可动电极梳齿、非可动电极梳齿、U形敏感梁、应力隔离结构和止挡结构。当体系受到环境温度变化时，产生的热应力通过应力传递梁和应力集中梁释放，使应力被隔离在敏感的U形敏感弹性梁以外，从而避免影响传感器标度因数，保证其性能的温度一致性；同时，通过与隔离锚点连接的应力集中梁和应力传递梁的设置，实现了对敏感质量块框架远端的支撑，可提升模态分离比、降低交叉轴灵敏度、提升抗过载能力和稳定性，避免受到非敏感轴方向加速度影响。解决现有敏感芯片敏感轴方向检测精度低、稳定性差及应力释放不够彻底的问题。

本发明授权具有应力隔离的MEMS电容式加速度传感器敏感结构及传感器在权利要求书中公布了：1.一种具有应力隔离的MEMS电容式加速度传感器，其特征在于，以加速度传感器的中心点为原点，以横轴为X轴，以纵轴为Y轴，建立直角坐标系；所述加速度传感器沿横轴方向以Y轴对称，沿纵轴方向以X轴对称，包括设置在衬底上的若干组敏感质量块框架（2）、若干检测梳齿连接结构（5）和若干的应力隔离结构； 所述检测梳齿连接结构（5）通过检测梳齿锚点（4）单点固定在衬底上，所述检测梳齿连接结构（5）两侧分别沿Y轴方向排布设置有若干的非可动电极梳齿（11）； 所述敏感质量块框架（2）沿Y轴两侧对称排列，且沿敏感轴方向移动；靠近Y轴两侧的两组敏感质量块框架（2）之间相互连接，其余相邻敏感质量块框架（2）之间通过U形连接结构（3）连接；所述U形连接结构（3）内的衬底上通过应力隔离锚点（8）固定有止挡结构（10），且U形连接结构（3）连接有U形弹性敏感梁（1）；所述敏感质量块框架（2）上设置有若干的可动电极梳齿（12），所述可动电极梳齿（12）与非可动电极梳齿（11）一一对应，构成电容结构； 所述应力隔离结构包括与U型弹性敏感梁（1）连接的应力传递梁（9），所述应力传递梁（9）沿Y轴方向设置，且通过中心锚点（6）固定在衬底上；所述应力传递梁（9）的两个末端分别设置有两个沿X轴延伸的应力集中梁（7），所述应力集中梁（7）连接止挡结构（10）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安交通大学，其通讯地址为：710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。