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龙图腾网获悉杭州欣俊哲微纳科技有限公司申请的专利一种应用于激光直接成像光刻设备的空气处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118732417B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411111852.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种应用于激光直接成像光刻设备的空气处理装置是由陈兵;许艳;焦克北设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于激光直接成像光刻设备的空气处理装置在说明书摘要公布了：一种应用于激光直接成像光刻设备的空气处理装置，包括由外而内依次排布的过滤部件、控温除湿部件和风机部件，所述风机部件作业使得空气处理装置内部形成正压，外部空气在气压差的作用下依次被吸入过滤部件、控温除湿部件并实现洁净、控温和除湿；包括回风口，所述回风口位于过滤部件底部，能促进激光直接成像光刻设备内部空气与空气处理装置内部空气的循环置换；包括保温隔热部件，所述保温隔热部件位于控温除湿部件的外部，能对控温除湿部件实现保温隔热，本发明能集温度、湿度、洁净度控制功能为一体，设置合理并能高效作业，保证激光直接成像光刻设备安全、可靠、稳定地运行。

本发明授权一种应用于激光直接成像光刻设备的空气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于激光直接成像光刻设备的空气处理装置，其特征在于： 包括由外而内依次排布的过滤部件（1）、控温除湿部件（2）和风机部件（3），所述过滤部件（1）包括依次排布的第一过滤器（11）、第二过滤器（12），所述第一过滤器（11）位于进风口（61）的后端，所述第一过滤器（11）、第二过滤器（12）之间设置第一腔室（13）；所述风机部件（3）作业使得空气处理装置内部形成正压，外部空气在气压差的作用下依次被吸入过滤部件（1）、控温除湿部件（2）并实现洁净、控温和除湿；所述空气处理装置、激光直接成像光刻设备和外部环境形成了空气回流大循环， 包括回风口（4），所述回风口（4）位于过滤部件（1）底部，空气处理装置、激光直接成像光刻设备和回风口（4）形成了局部空气回流小循环； 包括保温隔热部件（5），所述保温隔热部件（5）位于控温除湿部件（2）的外部，能对控温除湿部件（2）实现保温隔热； 包括壳体（6），所述壳体（6）位于激光直接成像光刻设备的顶部，所述壳体（6）朝向外部空气的一侧形成进风口（61），所述进风口（61）的面积尺寸大于回风口（4）的面积尺寸。

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