长川科技(苏州)有限公司刘桂林获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆外观检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223377219U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421971150.2，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型晶圆外观检测设备是由刘桂林;徐焕;雷传;杜振东;吴灿;王坤;侯魁设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆外观检测设备在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆检测技术领域，提供了一种晶圆外观检测设备。该晶圆外观检测设备包括正面检测模块、背面检测模块、晶圆料盒模块和搬运模块；正面检测模块用于对晶圆的正面进行检测，背面检测模块用于对晶圆的背面进行检测，晶圆料盒模块用于存放晶圆，正面检测模块、背面检测模块和晶圆料盒模块分别设置于搬运模块的周侧，搬运模块用于搬运晶圆在晶圆料盒模块、正面检测模块和背面检测模块之间流转。本申请提供的晶圆外观检测设备集成正面检测模块和背面检测模块，搬运模块搬运晶圆料盒模块中的晶圆可以分别实现正面检测和背面检测；且，在正面检测和背面检测中无需更换搬运模块，简化检测工序，提高检测效率。
本实用新型晶圆外观检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆外观检测设备，其特征在于，包括正面检测模块10、背面检测模块20、晶圆料盒模块30和搬运模块40； 所述正面检测模块10用于对晶圆的正面进行检测，所述背面检测模块20用于对晶圆的背面进行检测，所述晶圆料盒模块30用于存放晶圆； 所述正面检测模块10、背面检测模块20、晶圆料盒模块30分别设置于所述搬运模块40的周侧，所述搬运模块40用于搬运晶圆在所述晶圆料盒模块30、所述正面检测模块10和所述背面检测模块20之间流转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长川科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园内E2E3-301单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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