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龙图腾网获悉南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院申请的专利面向晶圆对准标记的聚焦评价方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119027371B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410990631.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权面向晶圆对准标记的聚焦评价方法、系统、设备及介质是由张航瑛;杨金;孟凯;楼佩煌;钱晓明;武星设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本面向晶圆对准标记的聚焦评价方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明属于光学计量技术领域，并公开了一种面向晶圆对准标记的聚焦评价方法、系统、设备及介质，包括：获取晶圆对准标记在离焦‑聚焦‑离焦过程中的序列图像集；对所述序列图像集中各序列图像进行边缘提取；基于Brenner函数和Roberts函数在进行边缘提取后的各序列图像的不同方向上进行聚焦评价，得到各所述序列图像对应的初始聚焦评价函数值；对各所述序列图像对应的初始聚焦评价函数值进行方差计算，得到最终聚焦评价函数值；基于所述最终聚焦评价函数值判断晶圆对准标记的聚焦状态。本发明所述技术方案能够实现晶圆对准标记快速准确地自动聚焦。

本发明授权面向晶圆对准标记的聚焦评价方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种面向晶圆对准标记的聚焦评价方法，其特征在于，包括： 获取晶圆对准标记在离焦-聚焦-离焦过程中的序列图像集； 对所述序列图像集中各序列图像进行边缘提取，具体包括： 确定初始采样间距，计算各所述序列图像的灰度值标准差； 计算各所述序列图像中各待标记像素点与相邻像素点的灰度值差值，将计算的灰度值差值与序列图像的灰度值标准差进行对比，基于对比结果确定当前待标记像素点是否为边缘像素点；其中，所述相邻像素点包括位于当前待标记像素点的右方和下方的像素点； 将计算的灰度值差值与序列图像的灰度值标准差进行对比，具体包括： 若相邻像素点的灰度值差值均小于所述灰度值标准差，则判断当前待标记像素点不为边缘像素点； 若相邻像素点的灰度值差值中存在大于所述灰度值标准差的灰度值差值，则判断当前待标记像素点为边缘像素点； 判断当前待标记像素点为边缘像素点后，对当前待标记像素点进行标记并缩小所述初始采样间距； 基于Brenner函数和Roberts函数在进行边缘提取后的各序列图像的不同方向上进行聚焦评价，得到各所述序列图像对应的初始聚焦评价函数值； 对各所述序列图像对应的初始聚焦评价函数值进行方差计算，得到最终聚焦评价函数值，具体计算公式为： 其中N为序列图像数量，UBre2d_Rob2d为序列图像集的初始平均评价函数值，FBre2d_Rob2d为初始聚焦评价函数，FBre2d_Rob2d_Var为最终聚焦评价函数值； 基于所述最终聚焦评价函数值判断晶圆对准标记的聚焦状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院，其通讯地址为：210016 江苏省南京市秦淮区御道街29号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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