北京烁科中科信电子装备有限公司易镓获国家专利权
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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利离子注入机批靶换片机构及批靶换片方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361400B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410929659.9，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权离子注入机批靶换片机构及批靶换片方法是由易镓;彭立波;胡旭波;曾国洪;李进;刘胜;刘贺新;朱剑峰设计研发完成，并于2024-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机批靶换片机构及批靶换片方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子注入机批靶换片机构及批靶换片方法，批靶换片机构包括靶台、储片室、第一传送组件和转向传送机构，靶台可旋转地安装在批靶靶室内，靶台沿周向均匀设置有多个靶盘，靶盘的盘面垂直于靶台，储片室内水平放置有若干晶片，转向传送机构包括换片盘和第二传送组件，第一传送组件用于实现储片室和换片盘之间的晶片传送，换片盘用于装夹晶片并实现晶片水平状态与垂直状态的切换，第二传送组件用于实现换片盘与靶盘之间的晶片传送。本发明的批靶换片机构可以大大简化整个靶室内靶盘的结构，避免靶室内的复杂运动，进而降低靶室内的颗粒度，提高产品良率。本发明的批靶换片方法步骤简单、操作方便、换片平稳高效。
本发明授权离子注入机批靶换片机构及批靶换片方法在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机批靶换片机构，其特征在于，包括靶台1、储片室2、第一传送组件3和转向传送机构，所述靶台1可旋转地安装在批靶靶室内，所述靶台1沿周向均匀设置有多个靶盘11，所述靶盘11的盘面垂直于靶台1，所述储片室2内水平放置有若干晶片4，所述转向传送机构包括换片盘5和第二传送组件6，所述第一传送组件3用于实现储片室2和换片盘5之间的晶片4传送，所述换片盘5用于装夹晶片4并实现晶片4水平状态与垂直状态的切换，所述第二传送组件6用于实现换片盘5与靶盘11之间的晶片4传送。
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