创昇光电科技(苏州)有限公司任霄彤获国家专利权
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龙图腾网获悉创昇光电科技(苏州)有限公司申请的专利一种超低膨胀系数氟化石英玻璃及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117865436B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410201842.7，技术领域涉及：C03B1/00；该发明授权一种超低膨胀系数氟化石英玻璃及其制备方法是由任霄彤;曹江行;尹号;田光磊;吴俊斌设计研发完成，并于2024-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超低膨胀系数氟化石英玻璃及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超低膨胀系数氟化石英玻璃及其制备方法，所述制备方法通过先制备得到TiO2‑SiO2复合材料，再利用氟源对所得TiO2‑SiO2复合材料进行氟化处理，并压制成密坯体，最后将密坯体依次进行玻璃化烧结处理，制备得到的所述氟化石英玻璃具有极低的热膨胀系数，其膨胀系数小于5×10‑8K，可作为镜基材运用在EUV光刻中。本发明所述的制备方法能够制备极高纯的超低膨胀系数氟化石英玻璃，其过渡金属杂质总量控制在1ppm内，原料中的过渡金属杂质含量及纯度均可通过纯化来提高。
本发明授权一种超低膨胀系数氟化石英玻璃及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种超低膨胀系数氟化石英玻璃的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： （1）制备TiO2-SiO2复合材料： 硅源和钛源在催化剂条件下水解形成TiO2-SiO2复合材料； 所述硅源为硅酸酯及其衍生物； 所述钛源为钛酸酯及其衍生物； 所述催化剂为氟化氢铵或氢氟酸； （2）氟化TiO2-SiO2复合材料： 用氟源对步骤（1）所得TiO2-SiO2复合材料进行氟化处理，形成氟化TiO2-SiO2复合材料； （3）超低膨胀系数氟化石英玻璃的形成： 将步骤（2）所得的氟化TiO2-SiO2复合材料压制成致密坯体，之后将所述致密坯体进行玻璃化烧结处理，即得超低膨胀系数氟化石英玻璃； 步骤（3）中，所述致密坯体在温度1450-2250℃、真空度10-1-103Pa的条件下进行玻璃化烧结。
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