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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利基于阳极键合的一体化MEMS电化学角加速度传感器及制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117269534B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311215146.3，技术领域涉及：G01P15/00；该发明授权基于阳极键合的一体化MEMS电化学角加速度传感器及制造方法是由王军波;朱茂琦;陈德勇;梁天;鲁毓岚设计研发完成，并于2023-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于阳极键合的一体化MEMS电化学角加速度传感器及制造方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种基于阳极键合的一体化MEMS电化学角加速度传感器及制造方法。所述传感器包括：玻璃基底、贯穿玻璃基底的引线孔、硅基衬底、贯穿硅基衬底的绝缘沟槽、敏感电极、第一阴极引线、第二阴极引线、阳极引线、下表面具有环形凹槽的玻璃盖板、贯穿玻璃盖板的注液孔。其中，硅基衬底与所述玻璃基底之间形成首次阳极键合，用以形成所述敏感电极及其引线所在的衬底结构；玻璃盖板与所述硅基衬底之间形成二次阳极键合，用以形成封闭的环形流道。本发明采用阳极键合实现了MEMS电化学角加速度传感器的电极‑流道一体化集成制造，器件尺寸和电极参数方便调节；此外，简化了组装操作，制备方法简单，器件性能一致性好。

本发明授权基于阳极键合的一体化MEMS电化学角加速度传感器及制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基于阳极键合的一体化MEMS电化学角加速度传感器，包括：玻璃基底、贯穿玻璃基底的引线孔、硅基衬底、贯穿硅基衬底的绝缘沟槽、敏感电极、第一阴极引线、第二阴极引线、阳极引线、下表面具有环形凹槽的玻璃盖板、贯穿玻璃盖板的注液孔；其中： 所述玻璃基底厚度均匀，表面洁净；所述引线孔贯穿玻璃基底的上下表面； 所述硅基衬底形成于所述玻璃基底的上表面，并与所述玻璃基底之间形成阳极键合；所述绝缘沟槽贯穿所述硅基衬底的上下表面； 所述敏感电极形成于所述硅基衬底的上表面，以一对或多对电极组的形式沿环形切向等间距排列，每个电极组均包含第一阴极和阳极或第二阴极和阳极； 所述第一阴极引线形成于所述敏感电极的外侧上半圆周，与电极组的每个第一阴极均相连； 所述第二阴极引线形成于所述敏感电极的外侧下半圆周，与电极组的每个第二阴极均相连； 所述阳极引线形成于所述敏感电极的内侧圆周，与电极组的每个阳极均相连； 所述下表面具有环形凹槽的玻璃盖板，形成于所述硅基衬底的上表面，其与所述硅基衬底进行二次阳极键合；所述注液孔贯穿所述玻璃盖板的上下表面。

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