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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理系统、排程建立方法、存储介质、及排程建立程序获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119895533B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380066690.8，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权基板处理系统、排程建立方法、存储介质、及排程建立程序是由山本慎司;窟口博司设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理系统、排程建立方法、存储介质、及排程建立程序在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够抑制源动力的使用量的基板处理系统。基板处理系统1000包含基板处理装置200、及控制装置300。控制装置300建立基板处理装置200的动作的排程SK。控制装置300包含存储部303、及控制部304。存储部303存储用于建立源动力的使用量互不相同的复数个排程SK的复数个已学习模型。控制部304可基于复数个已学习模型而建立复数个排程SK。复数个已学习模型分别基于学习时输入数据执行强化学习而被建构。学习时输入数据包含片数信息、制程条件信息、及源动力信息RS。源动力信息RS表示在基板处理装置200的动作的步骤中所含的各移动中使用的源动力的使用量。

本发明授权基板处理系统、排程建立方法、存储介质、及排程建立程序在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，其中， 包含： 基板处理装置，其使用源动力来处理基板，及 控制装置，其基于表示使所述基板处理装置处理的所述基板的片数的片数信息、规定所述基板处理装置的动作的步骤的制程条件信息、及表示在所述基板处理装置的动作的步骤中所含的各移动中使用的所述源动力的使用量的源动力信息，沿着时间序列配置规定所述基板处理装置的动作的内容的复数个区块，建立沿着时间序列规定所述基板处理装置的动作的排程； 所述排程包含所述源动力的使用量互不相同的第1排程及第2排程， 所述控制装置基于包含所述片数信息、所述制程条件信息、及所述源动力信息的排程建立时输入数据，以及第1已学习模型，建立所述第1排程，并基于所述排程建立时输入数据、以及与所述第1已学习模型不同的第2已学习模型，建立所述第2排程； 所述第1已学习模型基于包含所述片数信息、所述制程条件信息、及所述源动力信息的学习时输入数据，执行对加权系数进行调整以使所述第1排程的结束时间较早的强化学习而被建构， 所述第2已学习模型基于所述学习时输入数据，执行对加权系数进行调整以使所述第2排程的所述源动力的使用量的峰值较小或所述第2排程的所述源动力的使用量的总量较少的强化学习而被建构。

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