买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉歌尔微电子股份有限公司申请的专利一种用于半导体的溅镀工装及溅镀工装组获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117089813B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311113928.6，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种用于半导体的溅镀工装及溅镀工装组是由段明瑞;詹新明;包璐胜;尹保冠;宋晓丽;张宏设计研发完成，并于2023-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体的溅镀工装及溅镀工装组在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体的溅镀工装及溅镀工装组，所述溅镀工装包括：两个沿Y方向轴线对称设置的第一调节机构，所述第一调节机构包括多个沿Y方向并排设置的第一调节组件，所述第一调节组件能够在X方向移动；两个沿X方向轴线对称设置的第二调节机构，所述第二调节机构设于所述第一调节机构的下方，所述第二调节机构包括多个沿X方向并排设置的第二调节组件，所述第二调节组件能够在Y方向移动；所述第一调节组件能够在X方向移动，所述第二调节组件能够在Y方向移动，UI调节所述第一调节组件和所述第二调节组件所形成的空腔形状。本申请提供的技术方案，具有兼容性较高、节省成本及结构简单的特点。

本发明授权一种用于半导体的溅镀工装及溅镀工装组在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体的溅镀工装，其特征在于，包括： 两个沿Y方向轴线对称设置的第一调节机构，所述第一调节机构包括多个沿Y方向并排设置的第一调节组件，所述第一调节组件能够在X方向移动； 两个沿X方向轴线对称设置的第二调节机构，所述第二调节机构设于所述第一调节机构的下方，所述第二调节机构包括多个沿X方向并排设置的第二调节组件，所述第二调节组件能够在Y方向移动； 所述第一调节组件能够在X方向移动，所述第二调节组件能够在Y方向移动，以调节所述第一调节组件与所述第二调节组件所形成的空腔形状； 所述溅镀工装还包括边框，所述边框具有在Y方向相对设置的第一侧板和在X方向相对设置的第二侧板；所述第一侧板上设有沿Y方向设置的第一固定杆，所述第二侧板上设有沿X方向设置的第二固定杆； 所述第一调节组件包括第一调节块，所述第一调节块在Y方向相对的两个侧壁上开设有沿X方向延伸的第一限位通孔，所述第一固定杆穿过所述第一限位通孔，所述第一限位通孔能够相对所述第一固定杆移动，且所述第一限位通孔与所述第一固定杆能够锁定； 所述第二调节组件包括第二调节块，所述第二调节块在X方向相对的两个侧壁上开设有沿Y方向延伸的第二限位通孔，所述第二固定杆穿过所述第二限位通孔，所述第二限位通孔能够相对所述第二固定杆移动，且所述第二限位通孔与所述第二固定杆能够锁定。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人歌尔微电子股份有限公司，其通讯地址为：266101 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。