天津大学程振洲获国家专利权
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龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种用于波导器件测试的芯片空间映射定位方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116753837B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310745272.3,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权一种用于波导器件测试的芯片空间映射定位方法是由程振洲;贺祺;刘怡辰;胡浩丰;刘铁根设计研发完成,并于2023-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于波导器件测试的芯片空间映射定位方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种用于波导器件测试的芯片空间映射定位方法,包括以下步骤:1确定芯片上的若干个标记物;2在设计版图中获取芯片上标记物之间的设计距离并获取芯片上标记物之间的实际距离;3计算出设计版图中标记物之间的设计距离与实际距离的对应关系;4在设计版图中确定基准点A,在芯片位移台中的芯片中确定基准点B;5在设计版图上选择目标器件,确定目标器件在设计版图中相对于基准点A的坐标;6根据设计版图中标记物之间的设计距离与芯片位移台中标记物之间的实际距离的对应关系,计算出目标器件在芯片位移台中相对于基准点B的位置坐标,实现目标器件从设计版图到芯片位移台的空间映射定位。
本发明授权一种用于波导器件测试的芯片空间映射定位方法在权利要求书中公布了:1.一种用于波导器件测试的芯片空间映射定位方法,其特征在于,将包含波导器件的芯片固定在芯片位移台上,波导器件能够通过显微成像系统进行观测,利用计算机观察芯片设计版图并控制步进电机移动芯片位移台,具体包括以下步骤: (1)确定芯片上的若干个标记物;标记物采用的是十字形、圆形、方形、星形图形中的一种或多种具有标识性的图形; (2)在设计版图中获取芯片上标记物之间的设计距离,并且,在芯片位移台中获取芯片上标记物之间的实际距离;获取芯片上标记物之间的实际距离能够通过标尺测量或者是通过计算控制芯片位移台的步进电机的步数及步长得到; (3)计算出设计版图中标记物之间的设计距离与芯片位移台中标记物之间的实际距离的对应关系;基准点A和基准点B的选取能够取2个标记物连线中的某一位置为芯片上的基准点;基准点A和基准点B的选取能够取若干个标记物所形成的多边形的内心,或外心,或中心,或重心,或形心,或旁心,或垂心; (4)根据设计版图中若干标记物之间的设计距离确定基准点A,并且,根据芯片位移台中标记物之间的实际距离确定基准点B; (5)在设计版图上选择目标器件,确定目标器件在设计版图中相对于基准点A的坐标; (6)根据设计版图中标记物之间的设计距离与芯片位移台中标记物之间的实际距离的对应关系,计算出目标器件在芯片位移台中相对于基准点B的位置坐标,实现目标器件从设计版图到芯片位移台的空间映射定位,最终获得目标器件的显微图像信息;获得目标器件的显微图像信息是通过移动芯片位移台实现,或是通过移动显微成像系统实现。
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