广东工业大学代伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种类金刚石亲水涂层及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116970909B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310731635.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种类金刚石亲水涂层及其制备方法和应用是由代伟设计研发完成，并于2023-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种类金刚石亲水涂层及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种类金刚石亲水涂层及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤：采用磁控溅射技术，用氧气和惰性气体溅射镶嵌靶，并控制氧气的流量为5～25sccm，对基体表面进行沉积，即在基体表面得到所述类金刚石亲水涂层；所述镶嵌靶通过将硅靶均匀镶嵌在石墨靶中制成。本发明通过选用镶嵌靶避免了使用硅集中分布在拼接靶右上方的硅石墨拼接靶带来的方法重复稳定性差的问题，而且，本发明在制备类金刚石亲水涂层时，通过调控氧气的流量来控制类金刚石亲水涂层中硅元素和氧元素的原子含量比，以得到充足的亲水Si‑O‑Si键，进而提高类金刚石涂层亲水性。
本发明授权一种类金刚石亲水涂层及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种类金刚石亲水涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 采用磁控溅射技术，用氧气和惰性气体溅射镶嵌靶，并控制氧气的流量为5~25sccm，对基体表面进行沉积，即在基体表面得到所述类金刚石亲水涂层； 所述镶嵌靶通过将硅靶均匀镶嵌在石墨靶中制成； 所述类金刚石亲水涂层中，硅元素Si的原子含量为11.2~15.2%，氧元素O的原子含量为5.4~13.5%； 硅元素Si和氧元素O的原子含量比为0.83~2.80。
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