维达力实业(深圳)有限公司王伟获国家专利权
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龙图腾网获悉维达力实业(深圳)有限公司申请的专利镀膜方法和设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116356277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310342304.5,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权镀膜方法和设备是由王伟;虞文韬;薛涛设计研发完成,并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜方法和设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种镀膜设备和镀膜方法,通过设置能够连通或阻断的进出料腔和主工艺腔以及能够在进出料腔和主工艺腔之间转移的货笼,进行镀膜操作时,只需要在进出料腔和主工艺腔阻断的情况下单独对进出料腔开门放气即可实现单个货笼的放入或者取出,从而可以在其中一个主工艺腔进行镀膜的过程中,向另一个主工艺腔放入装载有待镀膜件的第一货笼或者是将装载有已镀膜件的第二货笼取出,以提高镀膜的连续性;此外,由于每次取放货笼仅仅对进出料腔进行抽真空或放气,正在镀膜的主工艺腔与进出料腔始终阻断,因此可以避免外界大气进入正在进行镀膜的主工艺腔内,从而防止镀膜件氧化以及对主工艺腔抽真空造成的不便,保证镀膜质量稳定性。
本发明授权镀膜方法和设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜方法,应用于镀膜设备,其特征在于, 所述镀膜设备包括进出料腔和至少两个主工艺腔,所述进出料腔和所述主工艺腔之间能够连通或阻断;所述主工艺腔内设置有安装架,所述安装架能够供N个货笼安装,其中,N为大于或等于2的正整数,未进行镀膜的所述主工艺腔为第一主工艺腔,已完成镀膜的所述主工艺腔为第二主工艺腔;用于安装在所述第一主工艺腔内所述安装架上的货笼为第一货笼,用于安装在所述第二主工艺腔内所述安装架上的货笼为第二货笼; 在所述进出料腔和所述主工艺腔阻断的情况下,所述方法包括如下步骤: S100,所述进出料腔放气开门,放入第一货笼; S110,所述进出料腔关门抽真空; S120,连通所述进出料腔和所述第一主工艺腔; S130,将所述进出料腔内的一个第一货笼转移至所述第一主工艺腔内的所述安装架上,并阻断所述进出料腔和所述第一主工艺腔; S140,重复S100-S130,直至所述第一主工艺腔内的所述安装架上放满N个第一货笼后进行镀膜; S200,连通所述进出料腔和所述第二主工艺腔; S210,将所述第二主工艺腔内所述安装架上的一个第二货笼转移至所述进出料腔; S220,阻断所述进出料腔和所述第二主工艺腔; S230,所述进出料腔放气开门,取出第二货笼; S240,所述进出料腔关门抽真空; S250,重复S200-S240,直至将所述第二主工艺腔内所述安装架上的全部第二货笼取出。
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