细美事有限公司全汉石获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利清洗单元、包括其的衬底处理装置以及头部清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116423989B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211741209.4，技术领域涉及：B41J2/165；该发明授权清洗单元、包括其的衬底处理装置以及头部清洗方法是由全汉石设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗单元、包括其的衬底处理装置以及头部清洗方法在说明书摘要公布了：公开了一种衬底处理装置。该衬底处理装置包括：头单元，其包括具有用于向衬底喷射处理液的至少一个喷嘴的头部；以及清洗单元，其用于清洗头部，其中清洗单元包括：第一清洗构件，其用于向头部喷洒清洗液；以及第二清洗构件，其用于在与头部紧密接触时与头部组合形成抽吸空间，并且通过向抽吸空间提供减压来去除附着在头部上的杂质。
本发明授权清洗单元、包括其的衬底处理装置以及头部清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，包括： 头单元，其包括头部，所述头部具有用于向衬底喷射处理液的至少一个喷嘴；和 清洗单元，其配置成清洗所述头部， 其中所述清洗单元包括： 配置成沿至少一个水平方向移动的平台； 设置在所述平台上的第一清洗构件，所述第一清洗构件配置成向所述头部喷洒清洗液； 设置在所述平台上的第二清洗构件，所述第二清洗构件配置成在与所述头部紧密接触时与所述头部组合形成抽吸空间，并且通过向所述抽吸空间提供减压来去除附着在所述头部上的杂质； 液体供应单元，其配置成向所述头单元供应所述处理液；以及 控制器，其配置成控制液体供应单元、所述头单元和所述清洗单元， 其中，所述第二清洗构件包括： 抽吸部，其面向所述头部的下部并且在内部形成有多个抽吸孔；以及 密封部，其布置在所述抽吸部的上方以保持所述抽吸空间的气密性， 其中，所述控制器配置成控制所述清洗单元以通过向所述抽吸空间提供所述减压来去除附着在所述头部上的杂质， 其中，所述减压首先通过多个所述抽吸孔中靠近所述密封部的第一抽吸孔提供给所述抽吸空间，然后通过多个所述抽吸孔中相比于所述第一抽吸孔离所述密封部相对更远的第二抽吸孔提供给所述抽吸空间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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