买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉广东省科学院新材料研究所;广东工业大学申请的专利一种高熵氮化物抗冲蚀涂层及其制备方法与器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116005109B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211569996.9，技术领域涉及：C23C14/06；该发明授权一种高熵氮化物抗冲蚀涂层及其制备方法与器件是由张程;程驰;李海庆;林松盛;石倩;韦春贝;代明江;苏一凡;唐鹏;黄淑琪设计研发完成，并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高熵氮化物抗冲蚀涂层及其制备方法与器件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高熵氮化物抗冲蚀涂层及其制备方法与器件，属于工程材料技术领域。该抗冲蚀涂层包括于基体表面依次设置的Me过渡层及AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作层；Me过渡层中的Me包括Ti、Cr和Zr中的至少一种；工作层对应的制备原料中Al、Ti、Cr、Zr、Nb的元素原子比为x:1:1:1:1，0.5x2；过渡层和工作层的厚度依次为0.20‑2μm和2‑8μm。该涂层具有优异的力学性能、硬度、耐磨性及良好表面质量。其制备方法包括：采用物理气相沉积方法于基体表面按顺序制备各结构层。该制备方法简单，沉积速率快，适用于工业生产。上述涂层可设置于器件表面以提高器件的抗冲蚀能力。

本发明授权一种高熵氮化物抗冲蚀涂层及其制备方法与器件在权利要求书中公布了：1.一种高熵氮化物抗冲蚀涂层，其特征在于，包括于基体表面依次设置的Me过渡层以及AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作层； 其中，所述Me过渡层中的Me选自Ti、Cr和Zr中的至少一种；所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作层对应的制备原料中Al、Ti、Cr、Zr、Nb的元素原子比为x:1:1:1:1，0.5x2； 所述Me过渡层的厚度为0.20-2μm，所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作层的厚度为2-8μm； 所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作层由靠近所述Me过渡层至远离所述Me过渡层的方向，呈现出柱状晶特征逐渐减少且细小晶粒特征逐渐增多的复合形式；所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作层中具有单一的FCC固溶体结构； 采用阴极电弧离子镀膜方式制备所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作层，所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作层的制备条件包括：反应气体为氮气，气压为0.5Pa-8Pa，氮气流量为100-800sccm，脉冲电磁复合磁场电压为15V-45V，电磁频率为6.7Hz-33.3Hz，脉冲负偏压＞0V且≤400V，占空比为50%-90%，靶电流为50A-110A，沉积温度为250℃-450℃，沉积时间为60min-300min。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东省科学院新材料研究所;广东工业大学，其通讯地址为：510650 广东省广州市天河区长兴路363号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。