盛美半导体设备(上海)股份有限公司王坚获国家专利权
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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利电镀设备的减震控制方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118166411B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211573444.5，技术领域涉及：G06F30/17；该发明授权电镀设备的减震控制方法、装置及电子设备是由王坚;王晖;贾照伟;杨宏超;胡瑜璐设计研发完成，并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本电镀设备的减震控制方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种电镀设备的减震控制方法、装置及电子设备。该方法包括：获取电镀设备的共振频率；基于共振频率，选择桨叶的工作频率，所述工作频率等于共振频率的m倍，m为数值范围0，0.5内的实数且该桨叶的工作周期小于电镀的工艺时间；其中，所述工作频率为桨叶在电镀设备的电镀腔内做分步往返步进式振动的频率。本申请的电镀设备的减震控制方法、装置及电子设备，根据不同电镀设备所具有的不同共振频率，针对性控制电镀设备电镀腔内桨叶的工作频率，以及不同电镀腔内桨叶的振动方式，很大程度减弱了桨叶振动所带来的影响，确保基板在实际工艺环境下的稳定，保障基板的加工质量，提高基板良率。
本发明授权电镀设备的减震控制方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种电镀设备的减震控制方法，其特征在于，包括： 获取电镀设备的共振频率； 基于共振频率，选择电镀设备的桨叶的工作频率，所述工作频率等于共振频率的m倍，m为数值范围0，0.5]内的实数，且桨叶的工作频率所对应的工作周期小于电镀的工艺时间； 其中，所述工作频率为桨叶在电镀设备的电镀腔内做分步往返步进式周期运动的频率； 选择桨叶的工作频率之后，基于所述工作频率，利用公式一计算桨叶前进一次然后后退一次所需要产生的位移Δ，根据桨叶前进一次然后后退一次所需要产生的位移生成桨叶的步进指令数据，控制桨叶按照指令数据动作； 其中，所述公式一为： Δ＝L*mf*t1*R 其中， L表示桨叶以分步往返步进式振动过程中的起点和终点之间的距离； f表示电镀设备的共振频率； t1表示桨叶每前进一次然后后退一次所花费的时长； R表示桨叶在一个工作周期的振动中移动距离达到L的次数。
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