万华化学集团电子材料有限公司韩翠婷获国家专利权
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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利一种钨化学机械抛光液及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115873507B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211556099.4，技术领域涉及：C23F3/06；该发明授权一种钨化学机械抛光液及其应用是由韩翠婷;崔晓坤;王瑞芹;卞鹏程;卫旻嵩;王庆伟;徐贺;李国庆;王永东设计研发完成，并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钨化学机械抛光液及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种含亲电亲核双功能有机硼化合物的钨化学机械抛光液，该抛光液还包含经硅烷偶联剂处理的研磨颗粒、催化剂、稳定剂、氧化剂、腐蚀抑制剂，余量为水。本发明的钨化学机械抛光液使用的亲电亲核双功能有机硼化合物可以增加体系稳定性，同时可以提高抛光后的表面质量。
本发明授权一种钨化学机械抛光液及其应用在权利要求书中公布了：1.一种钨化学机械抛光液，其特征在于，包括质量分数为0.1％～10％经硅烷偶联剂处理的研磨颗粒、0.001％～0.1％催化剂、0.02％～0.5％稳定剂、0.5％～3.5％氧化剂、0.005％～0.5％腐蚀抑制剂和0.001％～0.1％亲电亲核双功能有机硼化合物，余量为水； 所述亲电亲核双功能有机硼化合物选自以下结构式I～式IV中的任一种；
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