中国科学技术大学陆凡凡获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种封装式亚波长光栅偏振滤波片及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115291313B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210790526.9,技术领域涉及:G02B5/20;该发明授权一种封装式亚波长光栅偏振滤波片及其制造方法是由陆凡凡;邱克强;杨高元;刘正坤;洪义麟设计研发完成,并于2022-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种封装式亚波长光栅偏振滤波片及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种封装式亚波长光栅偏振滤波片及其制造方法,所述偏振片包括双层增透膜、红外材料基底、介质光栅、双层金属膜,双层金属膜分别覆盖于介质光栅槽底和光栅线顶部,光栅周期远小于入射光波长,直接在基底上制造光栅矩形槽然后在光栅表面镀金属膜,采用和基底材料相同的材料封装光栅槽,因为具有相同折射率,该封装层可以减小光栅侧壁界面的光反射损失,从而提高TM偏振光透过率,同时还可以极大保护金属膜,在封装好的光栅两侧镀上双层膜增透,可以解决长波红外材料的透过率低的问题,在长波红外波段,该偏振滤波片具有宽波段、高透过率、高消光比等特点。
本发明授权一种封装式亚波长光栅偏振滤波片及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种封装式亚波长光栅偏振滤波片,其特征在于:包括以红外材料制作的基底材料、与基底材料采用相同材料的光栅、双层金属膜、双层的第一、第二增透膜、与基底材料相同的封装材料;以入射光入射方向为始,依次设置第一增透膜、第二增透膜、基底材料、第二增透膜、第一增透膜,所述基底材料内具有矩形的亚波长光栅槽,所述亚波长光栅槽的底部和光栅顶部分别蒸镀一层金属膜,用与所述亚波长光栅槽与基底材料相同的封装材料封装形成封装层,在封装好的基片两侧对称镀双层的第一增透膜和第二增透膜; 第一增透膜为硫化锌,第二增透膜为氟化镱; 第一增透膜的厚度为857nm,第二增透膜的厚度为1267nm; 亚波长光栅在单独考虑该结构而不考虑基底双界面反射时,在7-14um实现优良的透过率; 在红外材料基底上直接制造出亚波长光栅结构,然后蒸镀一层铝膜,再用与基底材料相同的材料封装光栅; 所述封装材料与基底材料相同,且厚度大于光栅槽深; 基底材料为硅,光栅周期为600nm,光栅槽深为450nm,采用铝膜的金属膜的厚度为120nm,占宽比为0.5,TM透过率高于90%,消光比高于47dB。
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