NANO科技(北京)有限公司刘亚东获国家专利权
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龙图腾网获悉NANO科技(北京)有限公司申请的专利一种电极传输线及包含有该电极传输线的硅基电光调制器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114994962B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210667833.8,技术领域涉及:G02F1/035;该发明授权一种电极传输线及包含有该电极传输线的硅基电光调制器是由刘亚东;蔡鹏飞设计研发完成,并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电极传输线及包含有该电极传输线的硅基电光调制器在说明书摘要公布了:本发明公开一种电极传输线,包括:至少两层金属层,且相邻金属层中对应位置的金属电极的两侧通过通孔进行电学接触,形成矩形框体状的电极结构。本发明还公开一种包含有该电极传输线的硅基电光调制器。在完全兼容现行CMOS制作工艺的条件下,本发明的结构设计优化了电极传输线的电学带宽,进而提升调制器的电学带宽,从而提高了调制器的电光带宽,因此可适应更高调制速率的使用场景;多层金属层的结构设计可增大电极传输线的截面面积,从而改善电极传输线的直流电流承受能力;本发明形成的矩形框体状的电极结构可减弱趋肤效应对高频电学信号的影响。
本发明授权一种电极传输线及包含有该电极传输线的硅基电光调制器在权利要求书中公布了:1.一种电极传输线,其特征在于,包括:至少两层金属层,且每层金属层由若干金属电极组成,且相邻金属层中对应位置的金属电极沿宽度方向的两侧通过通孔进行电学接触,形成电极结构,且所述电极结构在宽度方向的横向截面呈矩形框体状。
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