细美事有限公司严成勋获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115742565B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210595900.X，技术领域涉及：B41J2/01；该发明授权基板处理装置及处理方法是由严成勋;李晟豪;张柱镛设计研发完成，并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种改善了操作性的基板处理装置，该基板处理装置，包括：第一槽，储存清洗液，在上表面形成有第一开口部；以及第一超声波振荡器，设置在所述第一槽内，并且朝向通过所述第一开口部而露出的所述清洗液的表面提供超声波并在所述清洗液的表面形成突出的水膜，基板不被浸渍于所述槽中，所述基板的一个面与所述第一开口部相邻地配置，通过所述水膜清洗来所述基板的一个面。
本发明授权基板处理装置及处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 第一槽，储存清洗液，在上表面形成有第一开口部；以及 第一超声波振荡器，设置在所述第一槽内，并且朝向通过所述第一开口部而露出的所述清洗液的表面提供超声波，在所述清洗液的表面形成突出的水膜， 基板不被浸渍于所述第一槽中，所述基板的一个面与所述第一开口部相邻地配置，通过所述水膜来清洗所述基板的一个面， 所述基板从第一侧向第二侧移动， 位于所述第一侧的所述第一槽的第一侧壁的第一高度低于位于所述第二侧的所述第一槽的第二侧壁的第二高度， 向所述第一槽内供给清洗液的供给口设置在所述第二侧壁， 从所述第一槽排出清洗液的排出口设置在所述第一侧壁。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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