深圳市联得自动化装备股份有限公司郑嘉瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市联得自动化装备股份有限公司申请的专利键合驱动装置和倒装芯片键合机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114937612B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210332526.4,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权键合驱动装置和倒装芯片键合机是由郑嘉瑞;王明军;张浩;尹祖金;周宽林;李虎;曾胜林;耿小猛;胡金;武杰设计研发完成,并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本键合驱动装置和倒装芯片键合机在说明书摘要公布了:本发明涉及一种键合驱动装置和倒装芯片键合机,键合驱动装置包括支撑台、第一驱动组件、旋转驱动组件及保持件,旋转驱动组件设于支撑台上,第一驱动组件设于旋转驱动组件上,第一驱动组件包括连接轴,连接轴用于与转接轴连接,第一驱动组件能够驱动键合头沿第一方向靠近或远离基板;旋转驱动组件与第一驱动组件连接用于驱动第一驱动组件以第一方向为轴线转动;保持件设于支撑台上,保持件上开设有用于容纳转接轴和或连接轴的过孔,保持件能够在过孔内形成高压填充体,以使转接轴与过孔保持同心。键合驱动装置能够便于实现芯片与基板高精度键合。倒装芯片键合机包括上述键合驱动装置,能够实现芯片与基板高精度键合。
本发明授权键合驱动装置和倒装芯片键合机在权利要求书中公布了:1.一种键合驱动装置,与键合头的转接轴连接用于控制所述键合头靠近或远离基板,其特征在于,所述键合驱动装置包括支撑台、第一驱动组件、旋转驱动组件及保持件,所述旋转驱动组件设于所述支撑台上,所述第一驱动组件设于所述旋转驱动组件上,所述第一驱动组件包括连接轴,所述连接轴用于与所述转接轴连接,所述第一驱动组件能够驱动所述键合头沿第一方向靠近或远离所述基板;所述旋转驱动组件与所述第一驱动组件连接用于驱动所述第一驱动组件以所述第一方向为轴线转动;所述保持件设于支撑台上,所述保持件上开设有用于容纳所述转接轴和或连接轴的过孔,所述保持件能够在所述过孔内形成高压填充体,以使所述转接轴与所述过孔保持同心; 其中,所述第一驱动组件还包括承载架以及设于所述承载架上的第一驱动件,所述旋转驱动组件与所述承载架连接用于驱动所述承载架转动,所述第一驱动件与所述连接轴连接用于驱动所述键合头沿第一方向靠近或远离所述基板。
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