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龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司申请的专利传输校正机构及硅片生产流水线获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114639625B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210246370.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权传输校正机构及硅片生产流水线是由孙松;龚志清;查俊;王博;苏茳设计研发完成，并于2022-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本传输校正机构及硅片生产流水线在说明书摘要公布了：本发明涉及一种传输校正机构及硅片生产流水线，硅片生产流水线包括传输校正机构，传输校正机构包括驱动模块、传输模块和校正模块，传输模块传动连接于驱动模块，传输模块能在驱动模块的驱动下沿第一方向传输工件；校正模块连接于传输模块，校正模块具有校正间隙，校正间隙沿第二方向的尺寸能够在驱动模块的驱动下减小或增大，第二方向垂直于第一方向。当校正间隙沿第二方向的尺寸减小时，校正模块能够触碰到工件相对两端，以对工件放置于传输模块的位置进行校正。使得只需一个电机即可同时驱动传输模块及校正模块一次完成传输和校正两个动作，解决了现有的传输校正机构校正准确率低、传输校正所需时间长，及生产和维护成本较高的问题。

本发明授权传输校正机构及硅片生产流水线在权利要求书中公布了：1.一种传输校正机构，其特征在于，包括： 驱动模块； 传输模块，所述传输模块包括主动轴组件和与所述主动轴组件相连接的第一直线运动转换机构，所述主动轴组件传动连接于所述驱动模块，所述主动轴组件能够在所述驱动模块的驱动下绕自身轴线方向旋转，并带动所述第一直线运动转换机构沿第一方向传输工件；及 校正模块，所述校正模块包括从动轴组件、第二直线运动转换机构和两个校正组件，所述从动轴组件传动连接所述主动轴组件，以通过所述传输模块传动连接于所述驱动模块，两个所述校正组件通过所述第二直线运动转换机构与所述从动轴组件传动连接，两个所述校正组件沿第二方向间隔排布以形成有校正间隙，所述主动轴组件绕自身轴线方向旋转时，能够带动所述从动轴组件同步绕自身轴线方向旋转，并通过所述第二直线运动转换机构驱动两个所述校正组件相互远离或靠近，以使得所述校正间隙沿第二方向的尺寸能够在所述驱动模块的驱动下减小或增大； 所述校正间隙沿所述第二方向的尺寸减小时，所述校正模块能够触碰到所述工件相对两端，以对所述工件放置于所述传输模块的位置进行校正； 其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

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