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龙图腾网获悉合肥维信诺科技有限公司申请的专利显示面板的过孔控制方法和过孔刻蚀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114267587B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111493350.2，技术领域涉及：H01L21/311；该发明授权显示面板的过孔控制方法和过孔刻蚀装置是由梅运柱;贾马龙;常李阳;张子曰;曹志文;李伟华;李阳设计研发完成，并于2021-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本显示面板的过孔控制方法和过孔刻蚀装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种显示面板的过孔控制方法和过孔刻蚀装置，先由第二膜层朝向基板的方向，在第二膜层的表面刻蚀过孔。当刻蚀过孔产生的生成物的光强变化率到第一预设值时，说明刻蚀过孔的位置到达第一膜层和第二膜层的界面。然后继续刻蚀第一膜层形成过孔。在第二膜层刻蚀过孔时，通过监测过孔产生的生成物的光强变化率能够大致判断过孔的刻蚀位置。通过生成物的光强变化率判断过孔刻蚀的位置可能会有监测延迟带来的误差。由于第一膜层厚度已知，第一膜层的材料材质和密度相对均匀，因此刻蚀第一膜层的速率容易控制。在刻蚀过孔的最后阶段，通过控制刻蚀时间控制过孔在第一膜层的刻蚀的深度，能够提高刻蚀第一过孔的终点位置的精度。

本发明授权显示面板的过孔控制方法和过孔刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种显示面板的过孔控制方法，其特征在于，包括： 提供基板（100），所述基板（100）的一侧层叠设置有第一膜层（110）和第二膜层（120），所述第二膜层（120）设置于所述第一膜层（110）远离所述基板（100）的一侧；所述基板（100）和所述第一膜层（110）之间设置沟道层（400），所述第一膜层（110）和所述第二膜层（120）之间设置有第一标记层（310）；所述第一标记层（310）包括金属材料，所述第一标记层（310）用于形成信号走线； 在由所述第二膜层（120）朝向所述基板（100）的方向，在所述第二膜层（120）的表面刻蚀过孔（200）； 当刻蚀所述过孔（200）产生的生成物的光强变化率到第一预设值时，通过控制刻蚀时间控制所述过孔（200）在所述第一膜层（110）的刻蚀的深度； 其中，监测刻蚀所述第一标记层（310）的生成物的光强变化率；当刻蚀所述第一标记层（310）的生成物的光强变化率到所述第一预设值时，通过控制刻蚀时间控制所述过孔（200）与所述沟道层（400）接触的位置。

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