弘塑科技股份有限公司陈建胜获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利单晶圆湿处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072565B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111274481.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权单晶圆湿处理设备是由陈建胜设计研发完成，并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶圆湿处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种单晶圆湿处理设备，包含一操作壳体、一驱动机构以及一升降机构。操作壳体包含一集液腔室以及与集液腔室分别连通的一回收导管及一第一废水排放管，其中回收导管还包含彼此不连通的一第一回收内管及一第二废水排放管。驱动机构包含承载所述晶圆的一转盘以及一驱动组件，转盘设置在集液腔室内。升降机构包含相对操作壳体移动的一回收环以及跟随回收环移动的一第二回收内管，回收环沿着操作壳体内壁移动，第二回收内管套设并相对第一回收内管移动，使废水不会从回收导管渗入到第一回收内管中，进而污染药液储存槽。
本发明授权单晶圆湿处理设备在权利要求书中公布了：1.一种单晶圆湿处理设备，其特征在于，透过一液体供应装置喷洒一晶圆，该单晶圆湿处理设备包括： 一操作壳体，包含一集液腔室以及与该集液腔室分别连通的一回收导管及一第一废水排放管，其中该回收导管还包含彼此不连通的一第一回收内管及一第二废水排放管； 一驱动机构，包含承载所述晶圆的一转盘以及驱动该转盘转动的一驱动组件，该转盘设置在该集液腔室内；以及 一升降机构，包含相对该操作壳体移动的一回收环以及跟随该回收环移动的一第二回收内管，该回收环沿着该操作壳体内壁移动，该第二回收内管相对该第一回收内管移动； 其中，该第二回收内管具有内外两层结构，包含一第一管部以及套设于该第一管部外的一第二管部，该第一管部的一端插设于该第一回收内管内，该第二管部的一端则套设于该第一回收内管外，该第一管部及该第二管部会相对该第一回收内管移动。
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