东京毅力科创株式会社阿部纯一获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利紧固构造、等离子体处理装置以及紧固方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114373666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111170300.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权紧固构造、等离子体处理装置以及紧固方法是由阿部纯一;山田洋平设计研发完成，并于2021-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本紧固构造、等离子体处理装置以及紧固方法在说明书摘要公布了：本发明涉及紧固构造、等离子体处理装置以及紧固方法。在利用紧固螺纹件将构成基板处理装置的构件彼此紧固的紧固构造中，使紧固螺纹件不产生松动。一种紧固构造，其对构成基板处理装置的第1构件和第2构件进行紧固，其中，第1构件具有内螺纹部，第2构件具有与内螺纹部对应的贯通孔和与该贯通孔连续并具有比贯通孔的直径大的直径的沉孔部，该紧固构造包括：紧固螺纹件，其具有贯穿于贯通孔并与内螺纹部螺纹结合的外螺纹部和与该外螺纹部的端部连续的螺纹件头部；以及平垫圈，其嵌合于沉孔部，供外螺纹部贯穿，至少螺纹件头部的与平垫圈相对的第1面和平垫圈的与螺纹件头部相对的第2面中的任一者或两者利用润滑材料覆盖。
本发明授权紧固构造、等离子体处理装置以及紧固方法在权利要求书中公布了：1.一种紧固构造，其对构成基板处理装置的第1构件和第2构件进行紧固，其中， 所述第1构件具有内螺纹部， 所述第2构件具有与所述内螺纹部对应的贯通孔和与该贯通孔连续并具有比所述贯通孔的直径大的直径的沉孔部， 该紧固构造包括： 紧固螺纹件，其具有贯穿于所述贯通孔并与所述内螺纹部螺纹结合的外螺纹部和与该外螺纹部的端部连续的螺纹件头部；以及 平垫圈，其具有嵌合于所述沉孔部的外径，并且具有供所述外螺纹部贯穿的孔， 至少在所述螺纹件头部的与所述平垫圈相对的第1面和所述平垫圈的与所述螺纹件头部相对的第2面中的任一者或两者上形成有利用润滑材料的覆盖，所述第1面和所述第2面经由所述覆盖接触， 其中，所述内螺纹部与所述贯通孔以及所述沉孔部之间的相对的位置在所述基板处理装置的基板处理时和该基板处理时以外时不同， 所述平垫圈的供所述外螺纹部贯穿的孔的直径设定为，在该平垫圈相对于所述内螺纹部相对地移动时，该平垫圈与所述紧固螺纹件的外螺纹部不发生碰撞。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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