上海微电子装备(集团)股份有限公司郭银章获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利投影光刻物镜及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115542676B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110739496.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权投影光刻物镜及光刻机是由郭银章设计研发完成，并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本投影光刻物镜及光刻机在说明书摘要公布了：本发明提供一种投影光刻物镜及光刻机。其中，第一镜组中的透镜至少一个呈非球面，且非球面朝向物面设置，以实现缩短物镜共轭距离，使物镜结构更加紧凑。第五镜组的第一负透镜和第六镜组的第一正透镜邻接设置，以形成了密接双分离形式透镜组，能够实现对视场的色差矫正。第七镜组的第二负透镜和第八镜组的第四正透镜邻接设置，以形成了密接双分离形式透镜组，进一步实现对视场的色差矫正，提高视场成像质量。第三镜组和第七镜组中的透镜均至少一个呈非球面。因非球面相比于球面增加了优化的自由度，所以一片非球面原理上可以代替2‑3片球面镜片的像差矫正效果，在保障分辨率的前提下，实现减少镜片数量，使得投影光刻物镜结构更加紧凑，降低成本。
本发明授权投影光刻物镜及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种投影光刻物镜，其特征在于，包括：沿光路依次设置的第一镜组、第二镜组、第三镜组、第四镜组、第五镜组、第六镜组、第七镜组、第八镜组、第九镜组和第十镜组；其中， 所述第一镜组中的透镜至少一个呈非球面，且所述非球面朝向物面设置；所述第五镜组包括第一负透镜，所述第六镜组包括第一正透镜，且所述第一负透镜和所述第一正透镜邻接设置；所述第七镜组包括第二负透镜，所述第八镜组包括第二正透镜，且所述第二负透镜和所述第二正透镜邻接设置；所述第三镜组和所述第七镜组中的透镜均至少一个呈非球面；以及， 所述第一镜组、所述第三镜组、所述第五镜组、所述第七镜组以及所述第九镜组中的透镜均为负透镜。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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