买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉无锡星微科技有限公司申请的专利一种气浮升降旋转平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120565474B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511045321.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种气浮升降旋转平台是由陆敏杰;姜燕燕;沈恒宇设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气浮升降旋转平台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种气浮升降旋转平台，属于精密仪器技术领域，该平台包括：底座、滑块以及载物台，滑块在底座内通过气体动力维持悬浮状态，并可在垂直方向上响应外部载荷进行位置调整，载物台与滑块之间通过气膜隔离接触，载物台可在平行于滑块表面的平面内旋转，滑块包括壳体，壳体上部设有推力轴承，推力轴承内侧设有径向轴承，载物台与推力轴承的上下表面间隙配合形成腔体，载物台与径向轴承的内侧间隙配合形成腔体，推力轴承具有向腔体释放高压空气的气路，载物台连接有电机。本发明降低了接触摩擦以提高了升降精度和旋转精度，提高了晶圆检测对准效率。

本发明授权一种气浮升降旋转平台在权利要求书中公布了：1.一种气浮升降旋转平台，包括：底座（1）、滑块（2）以及载物台（3），其特征是：所述滑块（2）在底座（1）内通过气体动力维持悬浮状态，并可在垂直方向上响应外部载荷进行位置调整，所述载物台（3）与滑块（2）之间通过气膜隔离接触，所述载物台（3）可在平行于所述滑块（2）表面的平面内旋转，所述滑块（2）包括壳体（21），所述壳体（21）上部设有推力轴承（4），所述载物台（3）与所述推力轴承（4）的上下表面间隙配合形成腔体，所述推力轴承（4）具有向所述腔体释放高压空气的气路，所述气路包括：在所述推力轴承（4）侧面设置的第一供气孔（41），与所述第一供气孔（41）连通且贯穿所述推力轴承（4）上下表面的第二供气孔（42），所述推力轴承（4）顶部具有连通所述第二供气孔（42）的环形槽（43），所述环形槽（43）内设有环形的弹性件（7），所述弹性件（7）具有接触支撑所述载物台（3）的顶部，所述推力轴承（4）释放高压空气时所述弹性件（7）的顶部受压形变且不与所述载物台（3）接触，所述弹性件（7）包括弹性环（71），所述弹性环（71）的截面为开口向下的U形，所述弹性环的开口末端与所述环形槽（43）槽面固定并形成封闭的间隔空间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡星微科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区旺庄街道机电工业园锡霞路5号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。