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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利用于镀多种膜层且具有温控功能的PECVD系统及镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120519837B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511014954.2，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权用于镀多种膜层且具有温控功能的PECVD系统及镀膜方法是由杨与胜;单洪青;刘义军;郭礼贤;余清设计研发完成，并于2025-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于镀多种膜层且具有温控功能的PECVD系统及镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体设备领域，具体涉及一种用于镀多种膜层且具有温控功能的PECVD系统及镀膜方法，在腔室结构的腔盖和或腔底上设置冷却管路，并通过冷却管路弯折形成多个调温区域，在对应的调温区域设置加热部件，并在腔盖和腔底对应于调温区域的位置分别设置温度检测部件，通过检测载板各区域的温度情况，可间接反映反应腔室内的温度均匀性，从而根据温度分布的差异调节对应区域的温度，以保证载板上的硅片在镀膜过程中处于温度相对均匀的反应气氛中；此外，在反应结束后可以通过向冷却管路中通入换热介质实现快速降温，同时结合加热部件，有利于缩短降温冷却时间和复机时间，从而提高设备的利用率。

本发明授权用于镀多种膜层且具有温控功能的PECVD系统及镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种用于镀多种膜层且具有温控功能的PECVD系统，用于制备异质结太阳电池，所述PECVD系统包括依次通过门阀连接的进片预热腔、一站式镀膜模组和冷却出片腔，所述一站式镀膜模组包括隔离腔和若干用于镀不同膜层的工艺腔，其特征在于，所述工艺腔包括： 腔体结构，所述腔体结构包括腔盖、腔底以及位于所述腔盖和腔底之间的反应腔室，所述腔盖和或所述腔底上布置有调温组件，所述调温组件包括冷却管路、第一加热部件和温度检测部件，所述冷却管路上设置有流体控制阀门，通过开启所述流体控制阀门向所述冷却管路中通入换热介质以进行换热，所述冷却管路弯折形成多个间隔分布的调温区域，所述第一加热部件分别对应设置在所述调温区域，所述温度检测部件均匀分布在所述调温区域的周边； 载板，所述载板布置在所述腔盖和所述腔底之间，用于承载待镀膜的硅片； 加热板，所述加热板位于所述载板的下方，用于镀膜时对所述载板上的硅片进行加热； 控制单元，所述控制单元分别与所述温度检测部件、流体控制阀门、加热板以及第一加热部件连接，用于根据所述各所述温度检测部件获取的温度差异对所述调温区域进行温度调节，以使得所述载板上硅片表面的镀膜厚度差异在预设范围内； 所述工艺腔还包括： 冷却水供应单元，所述冷却水供应单元与所述冷却管路的进水端连接，所述流体控制阀门设置在靠近所述冷却管路的进水端处； 压缩空气供应单元，所述压缩空气供应单元通过第一换向阀与所述冷却管路的进水端连接，所述冷却管路的出水端设置有第二换向阀，所述第二换向阀连接废水排放管；所述压缩空气供应单元用于在升温时向所述冷却管路通入压缩气体，以将所述冷却管路中残留的冷却水经所述废水排放管排出。

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