睿励科学仪器(上海)有限公司张昊获国家专利权
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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利光学系统的调试方法和光学检测系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119803866B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411954512.1,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权光学系统的调试方法和光学检测系统是由张昊;包建;何君博;杨浩哲;相春昌设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学系统的调试方法和光学检测系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种光学系统的调试方法和光学检测系统,本发明首先搭建光学标定系统,使得干涉仪可以接收到视场光信号和波面光信号;其次,本发明通过利用标定通孔可以快速定位标定物镜的位置和第二反射镜的位置;再次,本发明通过将标定通孔替换成标定狭缝,可以大大提升物镜焦点与第二反射镜重合时的位置精度;再次,本发明将标定物镜替换成检测物镜,在第二反射镜球心位置确定的前提下,本发明可以将检测物镜的焦点与第二反射镜的球心重合;最后本发明通过在替换标定物镜时,将检测物镜设置有一定的视场角,可以得到全视场下高NA物镜产生的波面信息。本发明具有结构简单、操作便捷的优点。
本发明授权光学系统的调试方法和光学检测系统在权利要求书中公布了:1.一种光学系统的调试方法,其特征在于,所述光学系统的调试方法至少包括以下步骤: S1:搭建光学标定系统;所述光学标定系统包括:干涉仪、第一反射镜、标定物镜及第二反射镜;所述干涉仪发出输入光信号分别传输至所述第一反射镜和所述标定物镜;所述第一反射镜与所述标定物镜平行设置,所述第一反射镜将所述输入光信号的第一部分光反射回所述干涉仪,以得到视场光信号;所述标定物镜的光轴与所述干涉仪的光轴平行,所述标定物镜将所述输入光信号的第二部分光进行汇聚,并传输至所述第二反射镜;所述第二反射镜为凹球面反射镜,所述第二反射镜将反射光束进行汇聚,汇聚后的反射光束经过所述标定物镜后回到所述干涉仪,以得到波面光信号; S2:使用标定平板调试所述光学标定系统;所述标定平板设置在所述标定物镜和所述第二反射镜之间,并且所述标定平板所在的平面与所述干涉仪的光轴垂直,所述标定平板上设置有标定通孔和标定狭缝;首先,调整所述标定通孔或者所述标定物镜的位置,使得所述标定物镜的焦点设置在所述标定通孔的位置上;其次,调整所述第二反射镜的位置,使得所述第二反射镜的球心设置在所述标定通孔的位置上;再次,使用所述标定狭缝替换所述标定光学系统中的标定通孔,调整所述标定狭缝的位置,使得所述标定狭缝在所述干涉仪中的成像中心与所述标定物镜的视场中心重合; S3:将所述标定光学系统的标定物镜替换为检测物镜,所述检测物镜与干涉仪光轴的视场角为0度,所述检测物镜沿着所述干涉仪的光轴移动,使得所述检测物镜的视场中心与所述标定狭缝在所述干涉仪中的成像中心重合,将所述标定平板撤出光路,获取光学检测系统。
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