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君原电子科技(海宁)有限公司李君获国家专利权

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龙图腾网获悉君原电子科技(海宁)有限公司申请的专利一种用于CVD-Heater AlN陶瓷盘和陶瓷轴的低温钎焊方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119820178B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411844189.2,技术领域涉及:B23K35/36;该发明授权一种用于CVD-Heater AlN陶瓷盘和陶瓷轴的低温钎焊方法是由李君;牛奔奔;石锗元;肖伟设计研发完成,并于2024-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于CVD-Heater AlN陶瓷盘和陶瓷轴的低温钎焊方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于CVD‑HeaterAlN陶瓷盘和陶瓷轴的低温钎焊方法,属于电池充电技术领域,包括:S1:玻璃钎焊料制备,使用CaO和Al2O3为玻璃相原材料,先混合高温熔融再水淬球磨制备成CA玻璃,起到粘接的作用,再加入一定比例的Si3N4,起到改善CA玻璃的膨胀系数来匹配AlN陶瓷,以松油醇和乙基纤维素作为有机添加剂混合制备成玻璃钎焊浆料,用于对陶瓷盘和陶瓷轴进行低温钎焊;S2:涂胶,将玻璃钎焊浆料涂抹在陶瓷盘或者陶瓷轴的bonding面上,通过丝网印刷或者涂抹笔完成涂抹;S3:高温bonding,贴合前以5℃min的升温速率将温度升高到1000℃,再以3℃min的升温速率将温度升高到1450℃,气氛为N2或者真空,保温2h后进行陶瓷盘和陶瓷轴的bonding;S4:bonding后测试。

本发明授权一种用于CVD-Heater AlN陶瓷盘和陶瓷轴的低温钎焊方法在权利要求书中公布了:1.一种用于CVD-HeaterAlN陶瓷盘和陶瓷轴的低温钎焊方法,其特征在于,所述方法包括: S1:玻璃钎焊料制备,使用CaO和Al2O3为玻璃相原材料,先混合高温熔融再水淬球磨制备成CA玻璃,其中CA玻璃中CaO占比40~60%,Al2O3的占比为60~40%,两者的总比例为100%,起到粘接的作用,再加入一定比例的Si3N4,起到改善CA玻璃的膨胀系数来匹配AlN陶瓷,其中,CACaO-Al2O3-Si3N4的配比中CA占比60~90%,Si3N4占比10~40%,以松油醇和乙基纤维素作为有机添加剂混合制备成玻璃钎焊浆料,用于对陶瓷盘和陶瓷轴进行低温钎焊; S2:涂胶,将玻璃钎焊浆料涂抹在陶瓷盘或者陶瓷轴的bonding面上,通过丝网印刷或者涂抹笔完成涂抹; S3:高温bonding,贴合前以5℃min的升温速率将温度升高到1000℃,再以3℃min的升温速率将温度升高到1450℃,气氛为N2或者真空,保温2h后进行陶瓷盘和陶瓷轴的bonding; S4:bonding后测试,测试样品的He漏率小于1×10-9Pa·ms,0~700℃温冲100次的漏率依然小于1×10-9Pa·ms,没有明显下降,初测样块的抗弯强度>250MPa,在700℃NF3腐蚀气体环境中腐蚀老化100h后,测试腐蚀样品的接合强度>250Mpa,没有明显下降。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人君原电子科技(海宁)有限公司,其通讯地址为:314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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