无锡影速半导体科技有限公司徐广峰获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种应用于曝光设备的内层对位装置及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390031U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423024937.0，技术领域涉及：G03F9/00；该实用新型一种应用于曝光设备的内层对位装置及曝光设备是由徐广峰;陈海巍设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于曝光设备的内层对位装置及曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种应用于曝光设备的内层对位装置，属于内层板曝光技术领域。包括相互扣合的透明的正板和透明的背板，正板的两侧或所述背板的两侧均设置有对准区，每个对准区上设置有至少两个靶标；靶标设置于对准区的上下两边，待曝光的板材固定于正板和背板之间的夹层空间内，正板或背板两侧对准区之间限定的区域为板材加工区，待曝光的板材被限位于所述板材加工区内。该装置可以简单地实现第四点的精确打标，能够有效提高曝光板的对位精度，同时，采用结构简单的内层对位装置，针对不同尺寸的曝光加工板，该装置能够有效降低四点对位的成本。
本实用新型一种应用于曝光设备的内层对位装置及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种应用于曝光设备的内层对位装置，其特征在于，所述内层对位装置包括相互扣合的透明的正板和透明的背板，所述正板的两侧或所述背板的两侧均设置有对准区，每个所述对准区上设置有至少两个靶标；所述靶标设置于对准区的上下两边，待曝光的板材固定于正板和背板之间的夹层空间内，正板或背板两侧对准区之间限定的区域为板材加工区，待曝光的板材被限位于所述板材加工区内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡影速半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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