江苏国汇合瑞半导体材料有限公司张旭强获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏国汇合瑞半导体材料有限公司申请的专利一种花篮检具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223389084U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422950681.X,技术领域涉及:G01B5/00;该实用新型一种花篮检具是由张旭强;张剑侠;张曼曼;陈艳设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种花篮检具在说明书摘要公布了:本实用新型属于硅片加工领域,公开了一种花篮检具,包括底座、滑块和固定板,所述滑块可滑动的设置在底座上,所述滑块用于承载硅片花篮,所述固定板为L形板,所述固定板的一端固定连接在底座上、另一端延伸至底座的上方并固定连接有竖向设置的检具板,所述检具板的两侧均布满有沿竖向排列的若干检测齿,若干所述检测齿等间距设置。本方案将检具板设计成全齿结构,全齿结构的检具板能够对硅片花篮侧齿板每个齿中心距的均匀度和共面精度进行检测,通过这种检测,可以快速筛选出侧齿板质量合格的硅片花篮,确保硅片在后续加工过程中的加工质量,减少因花篮侧齿板精度问题而导致的硅片位置偏差、碰撞等不良情况的发生。
本实用新型一种花篮检具在权利要求书中公布了:1.一种花篮检具,包括底座(1)、滑块(2)和固定板(3),其特征在于:所述滑块(2)可滑动的设置在底座(1)上,所述滑块(2)用于承载硅片花篮,所述固定板(3)为L形板,所述固定板(3)的一端固定连接在底座(1)上、另一端延伸至底座(1)的上方并固定连接有竖向设置的检具板(4); 所述检具板(4)的两侧均布满有沿竖向排列的若干检测齿(5),若干所述检测齿(5)等间距设置,且相邻两检测齿(5)的间距与硅片花篮的侧齿板槽间距一致,所述检测齿(5)用于检测硅片花篮侧齿板每个齿中心距的均匀度和共面精度; 所述底座(1)、滑块(2)、固定板(3)、检具板(4)和检测齿(5)的材质均为不锈钢。
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