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龙图腾网获悉鸿舸半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种实时检测PH的半导体供液设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560413B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411742349.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种实时检测PH的半导体供液设备是由杨亚辉;于锋;田文龙;刘鹏;常军设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种实时检测PH的半导体供液设备在说明书摘要公布了：一种实时检测PH的半导体供液设备，包括箱体、药筒、泵体、供液检测装置和信号处理装置，药筒位于箱体内且输入有药液；泵体设置在箱体内且与供液检测装置连接，以通过供液检测装置抽取药液。泵体工作后，通过供液检测装置和三通接头抽取药筒内部的药液，并输送至半导体设备以供后续工艺处理。供液检测装置上设置有传感器，传感器的探头浸入药筒的药液内，在通过本体抽取药液的同时可以实现对药液ph值的实时检测，传感器将采集到的ph值信息输送至信号处理装置，信号处理装置接收并分析该ph值信息，当ph值信息出现变化并且变化值超过预设范围后，表明药筒内部的药液失效，信号处理装置上的报警装置发出警报，从而提醒操作人员更换失效的药液。

本发明授权一种实时检测PH的半导体供液设备在权利要求书中公布了：1.一种实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，包括：箱体、药筒、泵体、供液检测装置和信号处理装置，所述药筒位于所述箱体内且内部输入有药液；所述泵体设置在所述箱体内且与所述供液检测装置连接，以通过所述供液检测装置抽取所述药液；所述供液检测装置包括：第一管体组件、第二管体组件、三通接头、传感器和线缆，所述第一管体组件与所述第二管体组件连接，所述第一管体组件的底端伸入所述药筒内，所述第二管体组件通过所述三通接头与所述泵体连接； 所述第一管体组件包括：内筒和外筒，所述内筒位于所述外筒的内部，所述内筒和所述外筒的底部均位于所述药筒内部，且所述内筒的外圆周侧面与所述外筒的内圆周侧面之间具有第一设定间隙，所述传感器设置在所述内筒的内部，所述传感器的底部伸入所述药筒的所述药液内用于检测所述药液的ph值，所述传感器的顶部通过所述线缆与所述信号处理装置电性连接； 所述第二管体组件包括：第一连接管、第一连接接头和第二连接接头；所述第一连接管与所述外筒分别沿上下方向布置，且所述第一连接管的底端与所述外筒的顶端通过所述第一连接接头连接；所述线缆还位于所述第一连接管的内部，且所述线缆与所述第一连接管的内侧壁之间具有第二设定间隙；所述第一连接接头的侧壁上设置有第一连接孔，以连通所述第一设定间隙和所述第二设定间隙；所述第二连接接头与所述第一连接管顶部的侧壁连接，所述第二连接接头与所述三通接头连接； 所述泵体启动后，所述药筒内部的所述药液依次沿着所述第一设定间隙、所述第二设定间隙和所述三通接头流向所述泵体；当所述信号处理装置接收并处理ph值信息，且在所述药液的ph值变化超过预设值时控制其报警装置报警。

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