南京孚克讯新材料有限公司詹军获国家专利权
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龙图腾网获悉南京孚克讯新材料有限公司申请的专利CMP修整器表面防腐耐磨涂层的制备装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386232U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422900418.X，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型CMP修整器表面防腐耐磨涂层的制备装置是由詹军设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本CMP修整器表面防腐耐磨涂层的制备装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了CMP修整器表面防腐耐磨涂层的制备装置，涉及CMP修整器技术领域。本实用新型包括直流电弧等离子炬、载物台和冷却机构，所述载物台的底部设置有保温座，本实用新型通过设置冷却机构，实现了对载物台及其上CMP修整器的全面且高效的冷却，确保了沉积过程中产生的热量能够及时被带走，避免了因过热而导致的涂层质量下降，通过外部液泵驱动冷却水循环，并结合保温座的保温作用，能够实现对沉积过程中温度的精确控制，这种精确的温度管理有助于优化等离子体的沉积效果，使金刚石粉末能够在最佳的温度条件下熔融并牢固地附着在修整器表面，提高了沉积效率，还减少了因温度波动而导致的沉积失败或质量不稳定的情况。
本实用新型CMP修整器表面防腐耐磨涂层的制备装置在权利要求书中公布了：1.CMP修整器表面防腐耐磨涂层的制备装置，其特征在于：包括直流电弧等离子炬3、载物台4和冷却机构7，所述载物台4的底部设置有保温座5，所述保温座5的底部开设有安装槽6，所述冷却机构7包括第一进水管701，所述载物台4的内部开设有第一导流槽705和第二导流槽706，所述第一进水管701通过第一导流槽705连通有第一出水管707，所述第一进水管701通过第一连接管703连接有第二进水管702，所述第二进水管702通过第二导流槽706连接有第二出水管708，所述第二出水管708和第一出水管707之间连接有第二连接管709，所述第一连接管703的一侧设置有冷却水管704，所述第二连接管709的一侧设置有回流管710。
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