苏州宏点半导体科技有限公司李习文获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州宏点半导体科技有限公司申请的专利一种用于半导体加工设备的控压装置及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386233U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422889694.0，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型一种用于半导体加工设备的控压装置及半导体加工设备是由李习文;王康;庞飞设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体加工设备的控压装置及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体加工设备的控压装置及半导体加工设备，涉及半导体加工技术领域，该用于半导体加工设备的控压装置包括安装在机架体端部的安装顶板，安装顶板中开设有贯穿送料管道的孔洞，送料管道的端部固定连接有气料混合器，气料混合器固定连接在反应室的上方；本实用新型，通过送料管道上安装的流量监测传感器和进气电磁流量控制器，控制进气流量与压力，再配合回收管道上安装的出气电磁流量控制阀，控制出气压力以及流量，通过控制进料和出料的流量，对反应腔室中的压力大小进行精确控制，且每个送料管道的端部均设有控制结构，可以精确控制每种气体的进入量，进而提高对压力的控制效果。
本实用新型一种用于半导体加工设备的控压装置及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体加工设备的控压装置，其特征在于：包括安装在机架体端部的安装顶板（1），安装顶板（1）中开设有贯穿送料管道（7）的孔洞，送料管道（7）的端部固定连接有气料混合器（6），气料混合器（6）固定连接在反应室的上方； 所述的送料管道（7）包括与气料混合器（6）连通的连接管道（71），并且连接管道（71）远离气料混合器（6）的一端固定连接有流量监测传感器（72），而流量监测传感器（72）远离连接管道（71）的一端固定连接有进气电磁流量控制器（73）。
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