芯恩(青岛)集成电路有限公司王跃林获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利研磨装置及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223383257U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422871747.6，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型研磨装置及化学机械研磨设备是由王跃林;许力介;韩志祥;赵振伟设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨装置及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种研磨装置及化学机械研磨设备，包括：研磨台、研磨垫以及供液组件，研磨台的顶面间隔地设有若干个出液孔，研磨垫设于研磨台的顶面，研磨垫贯穿地设有若干个穿孔，穿孔与出液孔一一对应设置，穿孔与对应的出液孔连通。供液组件分别与若干个出液孔连接，供液组件用于分别向若干个出液孔提供研磨液，研磨液从不同的穿孔流出并流到研磨垫表面的不同区域。本实用新型通过供液组件分别向若干个出液孔提供研磨液，研磨液分别流经若干个出液孔、若干个穿孔，然后流出到研磨垫表面的不同区域，可对研磨垫表面的不同区域单独地提供研磨液。在研磨台的转动作用下，研磨液能够在研磨垫表面迅速地扩散，从而提高了研磨液分布的均匀性。
本实用新型研磨装置及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨装置，其特征在于，包括：研磨台、研磨垫以及供液组件； 所述研磨台的顶面间隔地设有若干个出液孔； 所述研磨垫设于所述研磨台的顶面，所述研磨垫贯穿地设有若干个穿孔，所述穿孔与所述出液孔一一对应设置，所述穿孔与对应的所述出液孔连通； 所述供液组件分别与若干个所述出液孔连接，所述供液组件用于分别向若干个所述出液孔提供研磨液，研磨液从不同的所述穿孔流出并流到所述研磨垫表面的不同区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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