哈尔滨工业大学王浪平获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种超高温液态靶材高功率脉冲磁控溅射技术高速沉积氧化铝涂层的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119465054B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411672305.7，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种超高温液态靶材高功率脉冲磁控溅射技术高速沉积氧化铝涂层的方法是由王浪平;孙田玮;颜雨晨;王小峰设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高温液态靶材高功率脉冲磁控溅射技术高速沉积氧化铝涂层的方法在说明书摘要公布了：一种超高温液态靶材高功率脉冲磁控溅射技术高速沉积氧化铝涂层的方法，它涉及一种高速沉积氧化铝涂层的方法。本发明要解决现有氧化铝涂层溅射沉积过程中，存在靶中毒现象，导致靶材的溅射速率很低的问题。方法：一、将溅射靶材放入靶座中，调整靶座与磁控靶冷却底座之间存在间隙；二、通过高功率脉冲磁控电源形成高功率脉冲磁控溅射放电，直至靶材表面熔化；三、通入O2气，在高功率及超高温下进行溅射。本发明用于超高温液态靶材高功率脉冲磁控溅射技术高速沉积氧化铝涂层。
本发明授权一种超高温液态靶材高功率脉冲磁控溅射技术高速沉积氧化铝涂层的方法在权利要求书中公布了：1.一种超高温液态靶材高功率脉冲磁控溅射技术高速沉积氧化铝涂层的方法，其特征在于它是按以下步骤进行的： 一、将溅射靶材放入靶座中，调整靶座与磁控靶冷却底座之间存在间隙，将基体放置于样品台上并悬挂在溅射靶材正上方50mm～300mm处； 所述的间隙宽度为1mm～20mm； 二、将真空室抽真空，然后通入Ar气，在放电电压幅值为0.1kV～2.0kV、放电功率为0.6kW～5kW、频率为1kHz～10kHz及脉冲宽度为10μs～500μs的条件下，通过高功率脉冲磁控电源形成高功率脉冲磁控溅射放电，使靶材表面发生熔化，调节放电电压幅值以维持放电功率为0.6kW～5kW，直至靶材熔化，得到液态靶材； 三、保持Ar气通入，同时通入50sccm的O2气，在功率密度为5Wcm2、频率为1kHz～10kHz、脉冲宽度为10μs～500μs及液态靶材温度为1500K～3500K的条件下进行溅射，即完成超高温液态靶材高功率脉冲磁控溅射技术高速沉积氧化铝涂层的方法。
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