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烟台齐新半导体技术研究院有限公司张丽佳获国家专利权

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龙图腾网获悉烟台齐新半导体技术研究院有限公司申请的专利一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223388667U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422847330.6,技术领域涉及:F24F1/0038;该实用新型一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统是由张丽佳设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统,属于洁净室气体循环技术领域,包括新风进管、新风送风口、风机过滤单元和连通洁净室外的排风管,所述排风管连通有位于洁净室技术夹层的回收管,所述回收管依次设有可将热排风抽走的循环风机、冷却机构和回风管,冷却机构为干盘管冷却器或气气换热器或冷洁净气体混入式冷却器,该系统还包括自控装置,通过该申请中公开的热排风回收处理系统及应急联动系统,便于对洁净气体进行回收利用,回收的洁净气体降低了补充洁净室新风的负担,减小了暖通空调湿度控制的运行成本,也减少了对空气进行洁净处理的成本,进而大幅度降低了生产成本。

本实用新型一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统在权利要求书中公布了:1.一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统,包括洁净室1、新风空调机组23、新风进管21和排风管3;所述新风进管21的一端与新风空调机组23的出风口相连接,所述新风进管21的另一端与洁净室1连通,所述排风管3的一端与洁净室1连通,所述排风管3的另一端通向室外9; 其特征在于:还包括回收单元;所述回收单元包括回收管4与回风管51,以及沿气体流向依次设于回收管4上的循环风机41与冷却机构5,所述回收管4的起始端连接所述排风管3;所述回风管51的一端连接于冷却机构5出口,所述回风管51的另一端与洁净室1连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人烟台齐新半导体技术研究院有限公司,其通讯地址为:264000 山东省烟台市中国(山东)自由贸易试验区烟台片区南昌大街6号1#厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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