烟台齐新半导体技术研究院有限公司张丽佳获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台齐新半导体技术研究院有限公司申请的专利一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223388667U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422847330.6,技术领域涉及:F24F1/0038;该实用新型一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统是由张丽佳设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统,属于洁净室气体循环技术领域,包括新风进管、新风送风口、风机过滤单元和连通洁净室外的排风管,所述排风管连通有位于洁净室技术夹层的回收管,所述回收管依次设有可将热排风抽走的循环风机、冷却机构和回风管,冷却机构为干盘管冷却器或气气换热器或冷洁净气体混入式冷却器,该系统还包括自控装置,通过该申请中公开的热排风回收处理系统及应急联动系统,便于对洁净气体进行回收利用,回收的洁净气体降低了补充洁净室新风的负担,减小了暖通空调湿度控制的运行成本,也减少了对空气进行洁净处理的成本,进而大幅度降低了生产成本。
本实用新型一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统在权利要求书中公布了:1.一种Fab洁净室热排风回收处理应急联动系统,包括洁净室1、新风空调机组23、新风进管21和排风管3;所述新风进管21的一端与新风空调机组23的出风口相连接,所述新风进管21的另一端与洁净室1连通,所述排风管3的一端与洁净室1连通,所述排风管3的另一端通向室外9; 其特征在于:还包括回收单元;所述回收单元包括回收管4与回风管51,以及沿气体流向依次设于回收管4上的循环风机41与冷却机构5,所述回收管4的起始端连接所述排风管3;所述回风管51的一端连接于冷却机构5出口,所述回风管51的另一端与洁净室1连通。
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