无锡影速半导体科技有限公司欧旭锋获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种适用于深紫外波段的镜头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223389970U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422845295.4，技术领域涉及：G02B13/14；该实用新型一种适用于深紫外波段的镜头是由欧旭锋设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于深紫外波段的镜头在说明书摘要公布了：一种适用于深紫外波段的镜头，适用于显微成像或光刻，沿光轴依次包括：第一透镜，正弯月透镜；第二透镜，为正弯月透镜；第三透镜，为负双凹透镜；第四透镜，为负双凹透镜；第五透镜，为负弯月透镜；第六透镜，为负弯月透镜；第七透镜，为负双凹透镜；第八透镜，为正双凸透镜；第九透镜，为正双凸透镜；第十透镜，为正双凸透镜；第十一透镜，为正双凸透镜；第十二透镜，为正弯月透镜；第十三透镜，为正弯月透镜；第十四透镜，为负弯月透镜；第十五透镜，为正弯月透镜。本实用新型通过多镜片组合设计的镜头，易于加工，同时具有高数值孔径设计，结合深紫外光线的短波长特性，提高了传统光学显微镜的分辨率极限，能够精细观察微小结构。
本实用新型一种适用于深紫外波段的镜头在权利要求书中公布了：1.一种适用于深紫外波段的镜头，适用于190nm-270nm波长光线的显微成像或光刻，其特征在于，所述透镜组呈腰鼓状，沿光轴依次包括： 第一透镜，正弯月透镜； 第二透镜，为正弯月透镜； 第三透镜，为负双凹透镜； 第四透镜，为负双凹透镜； 第五透镜，为负弯月透镜； 第六透镜，为负弯月透镜； 第七透镜，为负双凹透镜； 第八透镜，为正双凸透镜； 第九透镜，为正双凸透镜； 第十透镜，为正双凸透镜； 第十一透镜，为正双凸透镜； 第十二透镜，为正弯月透镜； 第十三透镜，为正弯月透镜； 第十四透镜，为负弯月透镜； 第十五透镜，为正弯月透镜，所述透镜的左侧曲率半径为3.2mm~3.5mm，右侧曲率半径为6.0mm~6.7mm，矢高为1.8mm~2.2mm。
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