沈阳芯源微电子设备股份有限公司王赢获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390525U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422840765.8，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元是由王赢;郭生华;崔雨楠;白智源设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元在说明书摘要公布了：本实用新型属于涂胶显影设备技术领域，具体地说是一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元，包括安装基板及若干组晶圆传送组件。每组晶圆传送组件均包括直线驱动结构、连接支架、结构连接板、晶圆缺口检测结构及晶圆旋转定位结构。其中每组晶圆传送组件的晶圆旋转定位结构均具有用于吸附晶圆并能够带动晶圆旋转的可旋转吸附端，每组晶圆传送组件的晶圆缺口检测结构用于检测晶圆的缺口位置。本实用新型通过晶圆缺口检测结构及晶圆旋转定位结构的设置，可对晶圆缺口进行检测并使晶圆缺口转动到预设位置，该位置为不影响后续机械手的晶圆自动对中，有效防止机械手取放晶圆时产生偏心。
本实用新型一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元在权利要求书中公布了：1.一种模块间具备晶圆缺口检测定位功能的晶圆传送单元，其特征在于：包括安装基板1及若干组晶圆传送组件； 每组所述晶圆传送组件均包括直线驱动结构、连接支架2、结构连接板3、晶圆缺口检测结构及晶圆旋转定位结构； 每组所述晶圆传送组件的直线驱动结构均具有固定端及直线输出端，每组所述晶圆传送组件的直线驱动结构的固定端分别与安装基板1固接，每组所述晶圆传送组件的直线驱动结构的直线输出端分别与同组晶圆传送组件的连接支架2固接，每组所述晶圆传送组件的结构连接板3分别安装于同组晶圆传送组件的连接支架2上，每组所述晶圆传送组件的晶圆缺口检测结构及晶圆旋转定位结构分别安装于同组晶圆传送组件的结构连接板3上； 每组所述晶圆传送组件的晶圆旋转定位结构均具有用于吸附晶圆并能够带动晶圆旋转的可旋转吸附端，每组所述晶圆传送组件的晶圆缺口检测结构用于检测同组晶圆传送组件的晶圆旋转定位结构的可旋转吸附端上的晶圆的缺口位置。
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